NIKON测量仪VMZ-S3020

适合车载电子、半导体零部件的NEXIV新系列

「NEXIV VMZ-S3020」

尼康株式会社（社长：馬立 稔和、东京都港区 ）之子公司，Nikon Solution株式会社（社长：園田 晴久、东京都品川区），针对电子、半导体等精密零部件开发了CNC影像测量系统全新「NEXIVVMZ-S」系列。

  CNC影像测量系统「NEXIV」是运用尼康*的光学技术和图像处理技术，可自动测量电子、半导体零部件的装置。通过图像分析与高速准确的边缘检测，对于复杂特殊形状的被检物品也能够快速地进行测量。此次发售的「NEXIV VMZ-S」系列产品不仅保持了以往机型「NEXIV VMZ-R」系列产品的精度，还实现了更高的产能。

 「NEXIV VMZ-S3020」将出展「JIMTOF2020 Online」（2020年11月16日～12月11日）在线展会。

  另外，大尺寸载物台机型「NEXIV VMZ-S4540」以及「NEXIV VMZ-S6555」也在开发中，预计于2021年下半年依次发售。

发售概要

产品名

CNC影像测量系统「NEXIV VMZ-S3020」

订单接受时间*

2020年11月12日

*开始发货时间为2021年1月。

开发的由来

 近年来，汽车行业在自动驾驶与电动汽车市场扩大的背景下，电气化极速发展，用于汽车的电子、半导体零部件不断增加。由于关乎生命安全，所以采用的零件也需要非常严格的品质管控，对测量设备的要求也随之提高。所以，尼康研发并推出了适合于车载电子、半导体零部件等测量用途的CNC影像测量系统「NEXIV VMZ-S」系列。

主要特长

1. 高产能

「NEXIV VMZ-S3020」在高精度线性光栅尺和精密载物台提供高精度测量的同时，通过载物台移动和图像处理的高速化，与以往机型「NEXIV VMZ-R」系列产品相比实现了更高的产能。保证了客户公认的精度和再现性，缩短了测量时间。

2. 高品质图像，高精度测量

 通过无失真的高品质图像，即使不在视场中心附近也能得到可靠的测量结果。另外，根据被检测物品的形状通过同轴表面光、底部透射光、8个扇面环形光的选择与光量・照射方向的调整，可以敏锐的扑捉到难以检测的边缘。而且，通过1000点/秒的高速激光扫描，可以取得样品的截面形状，也可以对应高度方向的形状评价。满足各种各样零部件的测量需求。

3. 优越的实用性

 通过系列产品通用的尺寸测量软件「NEXIV AutoMeasure」，可以畅快有效地进行尺寸测量。另外，以简单形状为对象，增加了将测量程序制作工序的一部分自动化的功能。

 而且，为了满足使用NEXIV系列顾客的要求，用于操控载物台和测量头移动的操纵杆单元，运用了更易操作的设计。

主要规格

量程（X × Y × Z）

300 × 200 × 200 mm

（TZ型 使用低倍物镜时：250 × 200 × 200 mm）

小读数

0.01 μm

大承载重量

20 kg（保证精度的载重：5 kg）

测量精度

（L是测量的长度（㎜））

EUX,MPE, EUY,MPE（X轴、Y轴精度）：

1.2 + 4L/1000 μm

EUXY,MPE（XY轴精度）：2.0 + 4L/1000 μm

EUZ,MPE （Z轴精度）：1.2 + 5L/1000 μm

相机

黑白/彩色1/3英寸CMOS

变焦镜头型号*

（倍率・视场）

・1型：（0.5～7.5x  ・  9.33 x 7 ～ 0.622 x 0.467 mm）

・2型：（1～15x ・ 4.67 x 3.5 ～  0.311 x 0.233 mm）

・3型：（2～30x ・ 2.33 x 1.75 ～  0.155 x 0.117 mm）

・4型：（4～60x ・ 1.17 x 0.88 ～  0.078 x 0.058 mm）

・TZ型 ：（1～120x ・  4.67 x 3.5 ～ 0.039 x 0.029 mm）

・A型：（0.35～3.5x・ 13.3 x 10 ～  1.33 x 1 mm）

自动对焦

激光自动对焦（A型是选配）、图像自动对焦

灯光*

・1～4型: 同轴表面光、底部透射光、8个扇面的环形光（全部采用白色LED光源/1,  2, 3型3种角度、4型1种角度）

・TZ型: 同轴表面光、底部光（VMZ-S3020的低倍除外）、暗场照明

・A型: 同轴表面光、底部光、8个扇面的环形光

（全部采用白色LED光源/1种角度）

电源规格 / 额定电流

AC100-240V、50/60Hz  / 4A – 2A

尺寸（W × D × H）

/ 重量

本体+底座:  700 × 730 × 1793 mm / 约265 kg

控制箱: 190 × 450 × 450 mm / 约12 kg

占地大小（W × D）

2700 × 2400 mm

*根据应用的不同，有6种镜头型号可供选择。不同型号镜头所配备的灯光照明系统也会有所不同.

Nikon Optiphot Reflected Light Nomarski DIC Polarizing Microscope

Nikon NIKON OPTIPHOT MICROSCOPE SMZ-1B, EYE PIECE CAMERA FOSTEC LIGHT WITH POWERSOURCE

NIKON OPTIPHOT- 66 METALLURGICAL/INDUSTRIAL MICROSCOPE (BRIGHT/DARK FIELD)

Nikon Optiphot Nomarski & Polarizing BF/DF Microscope w/ 5MP USB Camera

Nikon Optiphot Trinocular Microscope Objectives Plan APO DPlan Splan

Nikon Optiphot Microscope DIC Nomarski Phase Contrast 4x 10x 20x 40x 100x

Nikon Optiphot

Nikon Nikon Phase Contrast / Inverted Microscope Working As pictured

NIKON OPTIPHOT-2

Nikon Optiphot

Nikon Ph3 40X / 0.55 160 / 0-2 DL LWD Microscope Objective Correction

Nikon S L-Ke Binocular Microscope with Two Objectives

Nikon SKT Binocular Phase Microscope Three Objectives DLL40 HI DLL100 DLL10

Nikon Phase Contrast 2 ELWD 0.3 Diaphot DM400 microscope 204953

Nikon PlanApo CFN 4x 0.20 160/- Microscope Objective Optiphot Labophot Plan Apo

Nikon 71315

Nikon TMS

Nikon Apo Plan

Nikon 4.96076E+12

Nikon PlanApo CFN 10x / 0.45 160 / 0.17 Microscope Objective Plan Apo

Nikon PlanApo 4x 0.20 160 0.17 Microscope Objective Optiphot Labophot Plan Apo

Nikon NSFM

NIKON PLAN 40/0.55,160/0-2.5 ELWD

Nikon PLM Polarizing Microscope with 5MP USB Digital Camera

Nikon Nikon Quad Teaching Microscope System for Labophot/Optiphot Microscope

Nikon SC

Nikon NSFNS