YAMATO高温气氛炉DTN450C/650C

YAMATO高温气氛炉DTN450C/650C

日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉产品特点：

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

最高工作温度500℃。

采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。

磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉技术参数：

型号 DTN450C DTN650C

外形尺寸（宽× 深× 高mm） 1240×1010×1750 1450×1060×1960

内尺寸（宽× 深× 高mm） 450×450×450 660×500×660

内部容积 91L 216L

温度范围 室温+50 ～ 500℃

温度调节精度 ±1.0℃（at500℃）

温度分布精度 ±8.0℃（at500℃）

最高温度到达时间 约110 分

氧浓度 20ppm 以下

氧浓度到达时间 ≤ 20 分（250L/min 氮气） ≤ 25 分（250L/min 氮气）

洁净度 温度恒定时100 级

加热方式 不锈钢加热管

冷却机构 不锈钢冷却水换热器

HEPA 过滤器 集尘效率：0.3um 粒子99.97% 以上

排气口 40KF 法兰

氮气入口 Rc1/2

冷却水入口 Rc3/4

热水出口 Rc3/4，2 个

电源（50/60Hz）额定电流  3 相AC380V 20A 3 相AC380V 27A

安全性：

门检测开关

温度过升防止器

氧浓度异常安全装置

氮气压力检测

氮气流量检测

冷却水流量检测

漏水传感器

过电流漏电漏电保护开