MKS发生器 AX7710MKS-01

为了清洁 CVD 和 ALD/ALE 工艺腔室，Paragon 远程等离子体源专为 NF 的高气体解离率 （> 95%） 而设计3气流高达8 slm，压力高达10 Torr。这种领先的性能转化为更高的过程吞吐量和可重复的过程结果。Paragon设计结合了专有的等离子体块设计与等离子体电解氧化涂层，可实现低颗粒，长块寿命，从而降低拥有成本。

高达 8 slm NF 流量，尺寸紧凑，可缩短清洁时间

同类最佳的解离 （>95%），可实现高效均匀的清洁效果

EtherCAT 智能数据报告，实现更快、更紧密的设备操作

与 O 兼容2和 NF3混合气体

专有的PEO等离子块设计提供更高的工艺性能规格

类型AX7710MKS-01 远程等离子体源

点火时的供气100% Ar 仅用于点火

供气后点火高达 8 slm 的 NF3（可添加点火后 NF3 并去除 Ar）

NF3 操作反应物输出>95% 跨工作空间的解离，1-10T，1-8 slm

O2：NF3 混合操作反应物输出>95% 跨工作空间的解离，1-10T，1-8 slm

工艺气体进料和排气入口气体连接 KF40

出口气体连接 KF50

占空比2 秒准时最小值至 100%（处理时间>45 分钟）

气体流量点火期间：1 至 8 Torr @ 1 至 5 slm，Ar

点火后：1 至 10 Torr @ 1 至 8 slm（NF3）

接液材料PEO涂层， 6061-T6 铝， 化学，® 氧化铝

工作温度环境空气 最高 40°C

需要冷却水2.0 加仑/分钟，<30°C

控制接口以太网和模拟 I/O 25 引脚 D

电源要求208 伏交流电，50/60 赫兹，35A，3 相（建议使用 50A 服务）

尺寸18.40 x 9.50 x 10.50 英寸（标称 467 x 241 x 267 毫米）

重量54 磅（24.5 千克）

合规CE、SEMI F47、SEMI S2（包括 S8、S10、S14 评估）、UL 61010-1、CAN/CSA-61010-1

特征

模拟或以太网控制

Paragon 远程等离子体源提供模拟和 EtherCAT® 通信端口。EtherCAT可用于直接控制Paragon，或与模拟端口结合使用，仅作为数据监控端口。Paragon将智能数据集流式传输到工具或晶圆厂数据库，以监控或修改操作参数，以保持工艺工具以最高效率运行并支持诊断（APC，FDC）应用。