MKS发生器 AX7696MKS-01

概述

创新的 R*evolution® V 结合了经过现场验证的低场环形等离子体技术、智能通信和真正的功率控制功能。R*evolution系列远程等离子体源在基于氧自由基的应用中处于领先地位，例如光刻胶条和其他表面制备。R*evolution® V 远程等离子体源将设计独特、主动冷却的石英环面等离子体腔室、射频电源、智能电源控制和 EtherCAT® 诊断集成到一个紧凑的独立单元中，便于直接安装在工具的工艺室中。提供多达 10 个 slm 自由基，以 <1% 的真实功率精度控制交付，以支持最新的设备供应商对腔室匹配的要求。R*evolution® V 远程等离子体源为晶圆提供高性能的氧自由基输送，从而实现极其清洁的源和更低的拥有成本。R*evolution® V EtherCAT®通信协议允许将关键等离子体源操作参数的近乎实时的数据报告给工艺工具或晶圆厂网络。EtherCAT®可用于直接控制R*evolution® V，或与模拟端口结合使用，仅作为数据监控端口。R*evolution® V将智能数据集流式传输到工具或晶圆厂数据库，以监控或修改操作参数，以保持工艺工具以最高效率运行并支持诊断（APC/FDC）应用。

产品系列概述

R*进化®远程等离子体源

技术规格

类型远程等离子体源

点火气体供应100% O2 或 Ar，或 90% O2/10% N2

工艺气体供应高达 10 slm （9：1 O2： N2）

工作压力0.5 - 4 托

输出多达 10 个 slm 自由基

占空比100%

联 锁内部热敏开关和内部水流开关可防止冷却不足

接液材料6061-T6 铝， Kalrez， SiO2， 316L 不锈钢， 镍， 氟硅

控制接口模拟， 乙醚猫

电源要求208 伏交流电，50/60 赫兹，30A，3 相

冷却水1.75 加仑/分钟，<30°C 环境温度

工作温度最高 40°C

尺寸15.7 x 13.7 x 12.14 英寸（标称值为 399 x 348 x 308 毫米）

重量81 磅（38.6 千克）

合规半 S2-0703（包括 S8、S10）、CE EMC （EN55011、EN61326）、NRTL （UL 61010A-1、CSA 22.2 No. 1010.1）、半 F47-0200 耐压性