MKS发生器 HMPX60Q-MKS

概述

HMPX60Q-MKS 高功率微波等离子体系统采用石英施加器材料，具有 6.0 kW 微波等离子体源、发生器（带隔离器）和自动调谐系统（由精密功率检测器和 SmartMatch® 单元组成）。这种全面的系统以低电子温度提供高浓度的自由基，以实现最高的解离和最低的复合率。高功率微波等离子体系统能够在几秒钟内在宽工作范围内点燃各种工艺气体，因此与当前和高级应用兼容，例如HDIIS植入后的光刻胶去除，高级表面清洁和调节以及高级沉积应用。

产品系列概述

大功率微波等离子体系统

技术规格

类型微波等离子系统

输出功率6.0 千瓦

频率2，440 - 2，470兆赫

输出精度<1% 闭环控制

环境温度最高可达 40°C

发电机到头部距离最远 100 英尺

微波连接WR284F 波导，带 CPR284F 法兰

电源要求200-208 伏交流电，3 相，50/60 赫兹

自动调谐<1.5 秒，反射功率<2%

化学O2， N2H2， N2， H2O， NH3， H2

涂药器材料石英

工作压力1 - 10 托

合规公元100年

配置KF40，定制

冷却水：1 GPM，20 - 30°C，最大 71 PSI（涂药器需要 0.50 GPM 的专用水冷供应）

电源发电机尺寸（7U 机架）19 x 12.2 x 20.03 英寸（482.6 x 309.88 x 508.76 毫米）（高 x 宽 x 深）

动力头 磁控头尺寸9.85 x 9.85 x 16 英寸（250.19 x 250.19 x 406.4 毫米）（高 x 宽 x 深）

动力头 磁控头冷却水：1 加仑/分钟，20 - 30°C，最大 71 磅/平方英寸

调节输出功率的±3%

总气体流量1 - 10 毫升

遥控模拟， RS485