MKS发生器 AX2600-AX2700

概述

AX2600 和 AX2700 系列微波等离子体输送子系统是完整且高度可靠的解决方案，用于经济高效地生成原子物质并将其安全输送到晶圆。高度可靠、经过现场验证的 AX2600 和 AX2700 系列等离子体输送子系统提供 1.8 kW 或 3 kW 的功率，可提供高度浓缩的原子物质。适用于多种化学成分，该等离子体系统的高速和高精度自动调谐保证了即时点火和从等离子体条件的快速过渡，从而实现高生产率。强大的闭环控制确保了从晶圆到晶圆和系统到系统的过程的高精度、精密度和最佳可重复性。AX2600 系列是一个完全集成的“打包”解决方案，专为便于腔室内集成而设计。AX2600 系统包括 AX2500 智能功率®微波发生器、SmartMatch® 调谐器、隔离器和获得专利的 AX7610 微波施加器。AX2700 系列以套件形式提供，由微波等离子体加工所需的所有组件组成，非常适合希望优化各个组件在系统上的放置的客户。所有 AX2700 系统组件都高度可靠、经过工厂测试和现场验证。

产品系列概述

AX2600 和 AX2700 微波等离子体子系统

技术规格

类型微波等离子体子系统

输出功率1.8 或 3.0 千瓦

频率2，440 - 2，470兆赫

输出精度±1.5%（最大功率的20 - 100%）

电源要求200/208 伏交流电±10%，3 相，50/60 Hz

化学O2， 氮，氢，芳烃，NF3， CF4， C2F6， NH3

涂药器材料石英或蓝宝石

工作压力2 - 8 托

合规CE， ETL， 半导体 S2-93A， 半导体 F47

匹配时间<2 秒

调节优于输出功率的 1%（线路和负载）

总气体流量1 – 7 slm

遥控模拟， RS485， 设备网™以太网®