MKS发生器 AX2518

概述

SmartPower® AX2518 微波发生器支持要求苛刻的半导体制造和工业应用，在 2440 至 2470 MHz 频率下功率为 180 W 至 3 kW。紧凑的 AX2500 设计体系结构采用了 MKS 经现场验证的技术，并结合了旨在提高性能和降低拥有成本的新设计功能。

产品系列概述

SmartPower® 2440 - 2470 MHz 智能微波发生器

技术规格

类型微波发生器

最大等离子体功率输出1.8 千瓦

输出功率±1.5%（最大功率的20 - 100%）

频率2440 - 2470 兆赫

脉动输出功率的±1%

环境温度最高可达 40°C

发电机到头部距离最大 100 英尺

微波连接WR284F 波导，带 CPR284F 法兰

电源要求200/208 伏交流电±10%，3 相，50/60 Hz

合规CE， ETL， 半 S2-93A， F47

电源发电机尺寸7.0 x 19 x 23 英寸（178 x 483 x 584 毫米）（高 x 宽 x 深）

动力头 磁控头尺寸10 x 7.62 x 14.5 英寸（254 x 193.5 x 368.3 毫米）（高 x 宽 x 深）

动力头 磁控头冷却水，1.5 加仑/分钟，最高 30°C @ 最低 30 psid

遥控模拟， RS485， 设备网™

源要求200/208 伏交流电±10%，3 相，50/60 Hz

合规CE， ETL， 半 S2-93A， F47

电源发电机尺寸7.0 x 19 x 23 英寸（178 x 483 x 584 毫米）（高 x 宽 x 深）

动力头 磁控头尺寸10 x 7.62 x 14.5 英寸（254 x 193.5 x 368.3 毫米）（高 x 宽 x 深）

动力头 磁控头冷却水，1.5 加仑/分钟，最高 30°C @ 最低 30 psid

遥控模拟， RS485， 设备网™