MKS压力计DA03B

DA03B Baratron®电容式压力计通过降低输出漂移来提高过程能力。DA03B在高达200°C的传感器温度下工作，其高温操作可最大限度地减少传感器内过程副产物的沉积。高温操作与大型传感器相结合，可减少传感器过程污染效应，从而提高灵敏度和零过程相关漂移。DA03B采用与行业标准DA02A相同的成熟数字架构，非常适合化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）、半导体工艺和冻干等高级应用。

在原子层沉积、CVD、冻干和其他先进制造工艺中的长期性能

最大限度地减少副产物的沉积

提供故障安全过温保护

全铬镍铁合金大型传感器，具有出色的灵敏度、耐腐蚀性和长期稳定性类型压力传感器

传感器类型电容压力计

测量类型绝对

满量程范围票价：1、2、3、5、10、20、100、1000 托

准确性±0.25%

管接头类型标准：

0.5 英寸（12 毫米）外径管

可选：

世伟洛克® 8 VCR® 母头，8 个 VCR 公头，NW16-KF，NW25-KF，迷你 CF，1.5 英寸三叶草，2 英寸三叶草

模拟输出模拟 0-10 VDC 到 >10kW 负载，以太网

跳闸继电器标准：

两 （2） 个内部固态继电器，用于加热器“处于温度”状态和加热器故障。继电器容量为 1 安培，30 VDC。

可选：

两 （2） 个内部安装的过程压力跳闸继电器，固态，可由客户在满量程范围的 0.5% 至 100% 的大气压下独立调节。继电器容量为 1 安培 @ 30 VDC。

分辨率满量程的0.001%

零温度系数150°C/160°C：

>1 Torr 时为 ±0.004% 满量程/°C ±1 Torr

范围为 0.008% 满量程/°C 200°C：

>1 Torr

时

为 ±0.008% 满量程/°C ± 1 Torr 范围为 0.016% 满量程/°C

量程温度系数±0.02% 读数/°C

响应时间模拟/数字：

35 ms（标称值）受压力范围、步长和数字压力过滤器设置

的影响 EtherCAT：

刷新率 = 3.3 ms

预热时间典型值为 2.5 小时

内部容积6.3 厘米3典型。有关具有特定法兰的体积，请联系 MKS。

工作温度15 - 50°C

超压限制45 psia

暴露于工艺气体中的材料铬镍铁合金®和铬镍®合金（一些配件选项是300系列不锈钢）

电源要求启动时 ±15 VDC @ 1.6A 或 +24 VDC @ 1.3A（出厂设置）

环境气流要求150/160°C 型号：

40 - 50°C

环境温度为 50 英尺/分钟 200°C 型号：

40 - 50°C 环境温度为 150 英尺/分钟

合规CE， UL1577（仅限跳闸继电器）