MKS压力传感器622D02TBE

概述

622D02TBE 未加热绝对压强®电容压力计具有 2 Torr 满量程压力测量功能，精度为 0.25%，并具有 8 VCR 型母接头。它需要±15VDC输入电压，并提供与压力成线性关系的高电平0-10VDC模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。压力/真空的变化是通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定的。这种电容变化通过获得专利的信号调理电子电路转换为可用输出。传感器中的径向张紧铬镍铁合金®隔膜提供非常快的响应（在许多情况下为<20毫秒），低滞后，出色的可重复性，非常高的分辨率（达到满量程的0.001%），极高的耐腐蚀性以及双壁焊接结构，以确保操作员的安全。传感器本身可以承受反复暴露于45 psia（3.1 bar）而不会永久退化或移动，使其几乎可以在任何过程系统中运行。622D Baratron®电容压力计可在环境条件下工作，适用于许多工业、电子和研究应用。622D 型具有接线端子电气连接器。

产品系列概述

622D 1-1000 托，未加热的绝对压抑®电容压力计

技术规格

类型真空/压力传感器

测量类型绝对

满量程范围2 托

传感器温度氛围

管接头类型8 个录像机母头

模拟输出0-10 伏直流电

准确性0.25% 的读数

电连接器接线端子

零温度系数0.010% 满量程/°C

量程温度系数读数的0.04%/°C

工作温度范围0-50°C

分辨率满量程的0.001%

卷6.3 毫升

超压限制45 psia （310 kPa）

暴露材料铬镍铁合金®和铬镍®合金

电源要求±15VDC （±5%） @ 35 mA