米铱电容位移传感器capaNCDT 6500

米铱电容位移传感器capaNCDT 6500产品介绍

米铱电容位移传感器capaNCDT 6500概述

电容式位移传感器专为需要极高精度的测量任务而设计。capaNCDT 6500 电容式多通道系统非常适合低至亚纳米分辨率的可靠测量。该控制器的最大响应速率为 7.8kHz（数字，最多四个通道）或 8.5kHz 的频率响应。除模拟输出外，还提供 EtherCAT(R) 接口。EtherCAT 可实现准确的实时数据传输，高速集成到现有测量环境中并同步两个系统。使用网络浏览器可以轻松设置和配置 capaNCDT 6500 系统。

米铱电容位移传感器capaNCDT 6500特征

测量范围（毫米）：

0.05 | 0.2 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10

最大分辨率 0.0375nm

最大线性度 0.01微米

频率响应 8.5kHz (-3dB)

数据速率（数字输出）7.8kHz

模拟输出（电压/电流）

以太网、EtherCAT

模块化 - 最多 8 个通道

外部或内部前置放大器

通过 Web 界面进行用户友好的设置和配置

最大分辨率

米铱电容位移传感器capaNCDT 6500优势

capaNCDT 6500 系统专为需要亚纳米分辨率的测量任务而设计。它的优势在半导体行业和实验室应用中的定位任务中表现得尤为出色。模块化 capaNCDT 6500 专为多通道应用而设计。最多八个传感器可以通过前置放大器连接到信号调节电子设备。

通过网络界面易于使用

由于用户友好的网络界面，控制器和传感器的整个配置过程无需使用任何附加软件即可执行。Web 界面可通过以太网访问，并为滤波器、算术链路和其他有用参数（如触发、测量值存储和线性化）提供设置和配置选项。