INFICON分析仪H100M,H200M,H300M

INFICON分析仪H100M,H200M,H300M

品牌 其他品牌 价格区间 面议

产地类别 进口 应用领域 石油,综合

ToolCheck在真空诊断中是创新的概念，它桥接了真空计与RGAs之间的空隙。这台简易的高功能仪器用于监测真空系统，精确地辨别Z常规的残余气体，便于及时检测真空问题与快速消除故障。这台全内置的仪器可容易地连接任何真空室，内置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和运行于系统控制器的标准网页浏览器查阅结果，无需外接计算机。 RGA残余气体分析仪（四极质谱仪）

详情介绍

RGA残余气体分析仪（四极质谱仪）

Transpector 2 的特点

-100，200，和300amu系统带法拉第杯或电子倍增器/法拉第杯的组合。

· 改进的氢检测。

· 与原始的Transpector相比讯噪比提高10倍

· 快速扫描低值讯号

· 个量级的电子学动态量程

· 用于单传感器和多传感器系统的软件选件

·分压测量从1×10-4乇至2×10-14乇

Transpector 2 是基于四极场的智能传感器，全部传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器上的小型、轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器，具有相当的灵活性，您可以使用当前的计算机或从INFICON选购PC和软件包。两种通讯链接，RS232用于单传感器，RS485用于多传感器配置，将Transpector2 连接控制计算机。简单的指令协议支配全部Transpector功能。

RGA残余气体分析仪（四极质谱仪）

RGA 应用（主要用途）

* 检漏

* 真空设备本底状况鉴定

* 在线工艺气体监测分析

* 检漏

-  真空系统泄漏（内漏,外漏）

-  可设置报警点,实现报警功能

-  与氦质谱检漏仪的区别:

RGA

氦质谱检漏仪

示漏气体

氦气或其他任何示漏气体

氦气

可检漏类型

内漏,外漏

外漏

显示

TWare32软件检漏模式/监控模式

（离子流/分压强）

显示面板（漏率）

* 真空系统本底状态鉴定

在系统达到极限真空时测定残余气体的种类和量值

* 真空系统污染监测和控制

清洗介质残留,返油（碳氢化合物）,表面放气（空气, H2O,   O2, CO, CO2）

 通过软件中的标准气体库,可确定气体成分.

* 真空工艺监控

- 在线监控:实时反映工艺异常或偏差

- 数据按时间自动存储（SOD文件）以便

   日后追溯进行工艺分析

- 继电器输出可用于控制阀门

- 模拟输出可连线PLC

* 镀膜工艺研究开发

 各种工艺气体的相对比例对工艺/产品的影响

RGA的选用 - 为您的镀膜机选择合适的RGA

* 小可检分压强（MDPP）

   法拉第杯（FC）:  3 x 10-13 Torr

   电子倍增器（EM）+法拉第杯（FC）:10-14~10-15 Torr

* 质量数（AMU）

取决于需要探测的气体

100AMU传感器 探测范围: 1-100AMU

200AMU传感器 探测范围: 1-200AMU

300AMU传感器 探测范围: 1-300AMU

   绝大多数工业应用仅需100AMU传感器

* 工作压强范围

- 标准RGA: < 5 x 10-4 Torr

- 高压强型XPR3: < 1 x 10-2 Torr

- 若需在更高压强下工作, 须使用取样系统（IPC400）