INFICON真空计HPG400

INFICON真空计HPG400

品牌 其他品牌 产地类别 进口

应用领域 电子,综合

INFICON 高压热电离皮拉尼HPG400型真空计 将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个单个紧凑经济的装置中，可测量 2×10-6 毫巴至大气压（1.5×10-6 托至大气压）范围内的压力。 HPG400 型真空计为准确的溅射过程压力控制提供重复测量并再现测量数据。 英福康高压强热电离皮拉尼真空计

详情介绍

英福康高压强热电离皮拉尼真空计

HPG400

INFICON 高压强热电离皮拉尼真空计, HPG400, 将高压强热电离与皮拉尼真空计综合

在一个小型, 轻便与经济的规管中, 测量压强从 2 x 10-6 毫巴至大气压（1.5 x 10-6 乇至 大气压）. HPG400 提供高度的重复性和再现性压强测量, 用于准确溅射过程的压强控制.

优 势

■ HPG400 节省成本和设备空间, 降低真空测量的安装与设置的复杂性

■ 高压强热电离真空计从1×10-5 至 1 毫巴为要求高的过程控制提供准确, 可靠的压强测量

■ 用户可选的热电离发射在5×10-2 至 1 毫巴之间起始工作

■ 皮拉尼联锁保护热阴极防止它过早烧毁

■ 备有可选的图形显示器和Fieldbus 接口

■ 高真空皮拉尼自动调整, 减少操作人员的干预

用 途

■ 半导体制造中溅射工艺应用, 电子学和传媒工业

■ 工业镀膜

■ 在低至高真空范围中系统的一般真空测量和控制

英福康高压强热电离皮拉尼真空计