INFICON分析仪Transpector CPM RGA

INFICON分析仪Transpector CPM RGA

品牌 其他品牌 价格区间 面议

产地类别 进口 应用领域 电子,综合

INFICON/英福康全功能型残余气体分析仪 Transpector CPM RGA

INFICON CPM RGA(残余气体分析仪）是一台全功能、轻便、高性能气体分析仪，理想地用于现场监测复杂的过程. 其干式抽空系统采用INFICON Transpector 2 气体分析系统的验证技术,并达到新的性能水平。

INFICON/英福康全功能型残余气体分析仪 Transpector CPM RGA

INFICON CPM RGA(残余气体分析仪）是一台全功能、轻便、高性能气体分析仪，理想地用于现场监测复杂的过程. 其干式抽空系统采用INFICON Transpector 2 气体分析系统的验证技术,并达到新的性能水平。

功     能

应用于ALD、蚀刻、CVD ，对残余气体进行过程监测和分析

测量速度为每点 1.8 ms（每秒 555 点）

在大多数苛刻 CVD 和蚀刻应用中，展现出经实践验证的耐久性和可靠性

应用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 软件，由 INFICON 提供支持，是一款强大的过程监测与诊断工具

紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备

Hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积，以最小化表面反应时间和响应时间

电容隔膜计 (CDG) — CDG 允许用户监测过程压力，并自动保护系统不出现压力偏移

自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度，以便进行各传感器和工具的腔室匹配

用户优越性

   INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下实现现场早期报警:

   ■    测量气相反应;

   ■    验证真空的完整性;

   ■    鉴别痕量污染物;

   ■    测量过程与本底的组分;

   ■    定性气体纯度。

Type 100 AMU CPM 200 AMU CPM 300 AMU CPM

分辨率 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height

总压力范围¹ 5E-7 - 1E-3 Torr 5E-7 - 1E-3 Torr 5E-7 - 1E-3 Torr

总压力精度² +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr

最大离子源工作压力³ 1E-3 Torr 1E-3 Torr 1E-3 Torr

标称工作压力⁴ 2E-4 Torr 2E-4 Torr 2E-4 Torr

系统工作压力 1E-8 Torr - 1.2 atm 1E-8 Torr - 1.2 atm 1E-8 Torr - 1.2 atm

灵敏度（低发射） > 4E-6 Amps/Torr > 2E-6 Amps/Torr > 1E-6 Amps/Torr

灵敏度（高发射） > 2E-5 Amps/Torr > 1E-5 Amps/Torr > 5E-6 Amps/Torr

最小可检测分压⁵ 1E-13 Torr 2E-13 Torr 4E-13 Torr

最大数据速率 1.8 ms/point (555 points/sec) 1.8 ms/point (555 points/sec) 1.8 ms/point (555 points/sec)

丰度灵敏度⁶ < 5 ppm < 10 ppm < 100 ppm

零冲击⁷ < 2 ppm < 25 ppm < 200 ppm

检测限值⁸ < 1 ppm < 2 ppm < 4 ppm

线性度⁹ +/- 20% +/- 20% +/- 20%

最小背景压力 1E-8 Torr 1E-8 Torr 1E-8 Torr

最大传感器和进气温°C度 150 150 150

INFICON/英福康全功能型残余气体分析仪 Transpector CPM RGA

1.使用总压强镜头获得的离子源压强读数@低发射

2.总压强准确度@低发射

3.离子源最大工作压强@低发射

4.2x10-4Torr的离子源将在四极区域产生大约1x10-5Torr的压强

5.EM开启且保压时间为1秒时离子源处的MDPP

6.质量数40对41 AMU的贡献

7.零冲击对2 AMU的贡献

8.空气中的氪的最小可检出浓度@ 1秒保压时间

9.适用于1 Torr孔板或更低设置。0.1至2倍标称孔板压强条件下的线性@低发射