VAT Valve控制阀VAT Valve 65.3

VAT Valve控制阀VAT Valve 65.3

65.3高压摆式控制阀

优化的下游压力控制和真空隔离在SEMI和显示系统中

指定您的产品

最大限度地提高生产力

65.3 变压控制阀为下游压力控制和隔离树立了新标准。该系列变压控制阀专为半导体和显示器生产系统而设计，可在各种电导下提供最高水平的可控性。65.3 变压控制阀配有集成位置控制的电机，可提供改进的功能。

驱动控制器具有更高的32位数据处理能力，可以提供新的可控性。这意味着摆式阀板的每个位置都可以非常快速，精确和准确地控制，从而在非常短的响应时间内实现非常精确的下游压力控制。阀门预设的运动顺序可以根据各种不断变化的工艺参数调整速度和路线。65.3 变压阀还可以防止颗粒的释放。阀板优化的阻尼关闭运动可以避免传统阀门常见的冲击和振动。65.3 变压控制阀的关闭平稳，关闭和打开几乎不易察觉。阀板提供非常精确的机械引导，确保往复运动中的非接触式气流控制，并在密封运动的所有区域实现均匀密封。

65.3 变压控制阀已安装在数百种要求苛刻的应用中，在各种工艺条件下，证明了其优异的可靠性和性能。65.3 压力控制摆动阀也是改造现有系统的理想选择。

闭

控制位置

打开

光学闭合

密闭式

65.3 变压阀的尺寸为DN 100-350 mm（4“-14”），由铝或硬质阳极氧化铝制成，带等值f和JIS标准法兰连接。定制法兰可以集成或作为直接安装选项。标准密封材料为氟橡胶，其他材料可根据需要使用。

控制器可采用特殊控制算法（自适应、固定PID、上行、软提取）。控制器上的各种标准端口可以通过个人计算机轻松访问或连接到过程控制单元（PCU）。专用的控制性能分析仪（CPA）软件可以轻松校准65.3变压阀并简化维护计划

65.3高压摆式控制阀的主要特点

特征：

快速精确的保温压力控制

无冲击操作：无颗粒活化

提高过程稳定性：所有流量和压力均受控

集成 32 位压力调节器 （IC2），带控制性能分析仪 （CPA）

“即插即用”改造：无需拆卸或对齐

好处：

出色的可靠性、精度和速度

延长维护周期

运行成本低

技术参数

大小 DN 100 （4“）， DN 160 （6”）， DN 200 （8“），

DN 250 （10”）， DN 320 （12“）， DN 350 （14”）

驱动器 带集成压力控制器的步进电机

阀体材料 铝坯或硬质阳极氧化

贯穿件 执行器

密封圈 旋转式馈通

轴馈通件

标准法兰 ISO-F， JIS

泄漏率阀体 空白铝

硬质阳极氧化铝 < 1 × 10-9毫巴 ls-1

< 1 × 10-5毫巴 ls-1

泄漏率阀座 空白铝

硬质阳极氧化铝 < 1 × 10-9毫巴 ls-1

< 1 × 10-4毫巴 ls-1

压力范围 空白铝

硬质阳极氧化铝 1×-8毫巴 至 1.2 巴 （绝对）

1 × 10-6毫巴至 1.2 巴（绝对）

周期直到第一次维修 压力控制

关闭/打开 1 百万

200 000

温度 阀体 ≤ 120 °C

  控制器 最高 50 °C（建议≤ 35 °C）

材料 阀体，板 EN AW-6061 （3.3211）

  密封圈 EN AW-6061 （3.3211）， AISI 305 （1.4303），

AISI 420C （1.3541）， AISI 631 （1.4568）

  其他零件 AISI 316L （1.4404， 1.4435）， AISI 440 （1.4122），

AISI 301 （1.4310）， AISI 316 Ti （1.4571）， AISI 304 （1.4301）

密封 阀盖，板体贯穿件 氟橡胶（含氟弹性体）

安装位置 任何