65.5高压摆式控制阀

具有高工艺压力和低体积流量的腐蚀性蚀刻应用的理想选择

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出色的高电导光谱

65.5 HV摆锤控制阀提供极高、可控的电导光谱。一个关键特征是由于其平稳的打开和关闭运动，其颗粒数量极低，颗粒活化水平低。

该阀专为半导体生产过程中的腐蚀性蚀刻和清洁应用等恶劣工艺而设计，在这些工艺中，需要高度可控的电导谱和低初始可控电导。

65.5 采用 DN 250mm （10“） 封装，可控制至仅 2 l s 的最小电导率-1.由于32位执行器控制器的数据处理能力，电导率的增加可以控制到非常精细的程度。它还提供更快的致动速度，因为传感器和控制命令的处理速度比等效的16位控制器更快。控制器上的各种标准端口连接器可通过 PC 或连接到过程控制单元轻松访问。

摆锤栅极机构的设计非常坚固，以确保它能够抵抗任何工艺副产品。为了减少密封件磨损并避免颗粒产生和颗粒活化，将打开和关闭运动分开。第一个电导度是通过远离栅座的垂直运动来实现的，后来通过水平运动移动摆锤门来实现电导率的增加。由于浇口运动的精细可控性，预设的运动顺序可以根据工艺要求进行调整。为确保密闭，将闸门通过特殊的专利压力棒压到闸门座上。这确保了浇口所有区域的密封压力均匀。

65.5 系列具有紧凑的设计和直接安装选项以及各种其他设计选项，可轻松集成到各种真空工艺中。

65.5 HV摆锤控制阀采用空白或硬质阳极氧化铝制成，带有ISO-F和JIS标准法兰连接器。可以集成客户特定的法兰以及用于阀门工作温度高达120°C的加热器。

1. 2 号登机口

。执行器轴

3.双轴执行器

4.执行器馈通密封

5.闸门密封