VAT Valve控制阀VAT Valve 61.3

VAT Valve控制阀VAT Valve 61.3

61.3 蝶形控制阀

快速、精确的下游压力控制

指定您的产品

在所有条件下均具有出色的压力控制

61.3 控制蝶阀提供出色的压力控制性能。凭借其快速精确的动作运动控制器（0.1秒），它是CVD和ALD工艺中精细控制的完美解决方案。该板充当节流元件，并改变阀门开口的电导率。61.3的集成压力控制器计算所需的板位置，以尽快达到设定压力。

它专为气流中含有颗粒的恶劣下游工艺而设计。61.3 在设计上尽管颗粒物高载荷和碎屑堆积，也能保持完全运行。

61.3 系列已安装在各种工艺条件下的数千种要求苛刻的应用中，证明了其出色的可靠性。凭借坚固的设计和直接安装选项，以及减少和易于维护，61.3系列在各个方面都令人信服。

阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定 PI 下游/软泵）方面的各种设计选项简化了与各种真空应用的集成。

61.3 控制蝶阀采用铝或不锈钢材质，带 ISO-KF 和 ISO-F 标准法兰连接器。可以集成客户特定的法兰以及特殊功能，例如带绝缘的集成加热器。可根据要求提供各种FFKM / FKM弹性体（FKM Viton®是标准配置）。

特征：

出色的压力控制

非常快速的操作

用于本地操作的板载软件

在恶劣的工艺条件下可靠运行

好处：

更好的过程可控性

正常运行时间长/性能不受限制

运营成本低

技术参数

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大小 DN 25 （1''） DN 40 （11/2''）， DN 50 （2''），

DN 63 （21/2“）， DN 80 （3”）， DN 100 （4“），

DN 160 （6”）， DN 200 （8“）， DN 250 （10”），

DN 320 （12“）

驱动器 带步进电机的集成控制器

  打开/关闭 < 0.1 s （取决于 DN 和板材）

阀体材料 铝或不锈钢

标准法兰 ISO-KF， ISO-F

泄漏率阀体 铝 < 1 × 10-9毫巴 ls-1

  不锈钢 < 1 × 10-9毫巴 ls-1

压力范围 1×-8毫巴至 1.2 巴（绝对）

周期直到第一次维修1) 压力控制 200万

温度 阀体 ≤ 150 °C

材料 阀体，板 EN AW-6082 （3.2315） 或 AISI 316L （1.4404 或 1.4435）

  轴 AISI 316L （1.4404 或 1.4435）

密封 贯穿件 氟橡胶（例如氟橡胶®）

安装位置 推荐泵侧的轴

  DN 25 ... DN 320

最大压差 在盘子上 1000 毫巴 ... 75 毫巴

电导 分子流 22 升-1 ... 27000 升-1

最小可控电导 分子流 0.15 升-1 ... 6 升-1

典型平仓或开盘时间

“仅持仓”版本 铝，不锈钢 0.09 秒 ... 0.29 秒

重量 铝阀门

不锈钢阀门 2.0 千克（4.40 磅）

2.5 千克（5.5 磅） ... 10.4 千克（23 磅）

12.3（27.1 磅）

1)最大值取决于操作条件和密封材料。