VAT Valve隔离阀VAT Valve 61.6

VAT Valve隔离阀VAT Valve 61.6

61.6高压蝶式控制隔离阀

快速、精确的下游压力控制和隔离

指定您的产品

在所有条件下均具有出色的性能

61.6 系列提供出色的压力控制和关断性能。61.6 具有快速精确的运动控制 （0.45 s），是 CVD 工艺中精细控制和关闭的完美解决方案。该板充当节流元件，并改变阀门开口的电导率。61.6 的集成式减压阀可计算所需的制动盘位置，以尽快达到设定压力。

61.6 系列截止功能专门设计用于防止蝶阀的密封磨损。凭借其偏心盘轴以及阀壳和密封座的特殊几何形状，密封摩擦最小化，密封性能提高。

61.6 系列已经安装在不同工艺条件下的数千种要求苛刻的应用中，证明了其出色的可靠性。凭借坚固的设计和直接安装（无法兰）的可能性，以及减少和简单的维护，61.6系列在各个方面都令人信服。

外壳材料、表面处理、弹性体、法兰连接、密封材料、特殊尺寸和特殊控制算法（自适应、固定 PI、下游/软泵）的广泛设计选项简化了 61.6 系列与各种真空应用的集成。

调节

障碍

61.6 高压控制和隔热翻板阀采用铝或不锈钢制成，标准法兰连接采用 ISO-KF 和 ISO-F 标准。可以集成客户特定的法兰，以及特殊设备，例如带绝缘的集成加热。一些FFKM / FKM弹性体可根据要求提供（FKM是标准配置）。

61.6高压控制和绝缘翻板阀的主要特点

特性：

出色的压力控制和关断性能

非常快速的运动

用于本地操作的“车载”软件

在恶劣的工艺条件下可靠运行

优势：

更好的过程可控性

高可用性/无限性能

运行成本低