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INFICON SKY CDG045D 压力计
INFICON SKY CDG045D 压力计产品介绍
INFICON SKY CDG045D 压力计是高精度总压力测量和控制的最佳选择。CDG045D 真空计的温度控制在 45 °C,以提供出色的信号稳定性和可重复性。它们适用于从 50 mTorr 到 1000 Torr 的满量程范围,具有所有常见的法兰类型和现场总线接口,并提供线性 0 到 10 V、与气体类型无关的压力信号。INFICON 电容压力计使用耐腐蚀的超纯氧化铝陶瓷隔膜。陶瓷传感器的优点是信号稳定性更好、从大气中恢复更快、预热时间短和使用寿命长。INFICON CDG 是高质量、经济高效的压力传感器,适用于要求严苛的真空应用。
INFICON SKY CDG045D 压力计可替代部件号
INFICON 的 CDG045D 是下面列出的部件号的直接替代品,并且可应要求提供许多其他的替代产品。
INFICON SKY CDG045D 压力计概述
CDG045D 系列是 CTR 101 真空变送器的 100% 替代品。现已推出EtherCAT数字接口!
INFICON SKY CDG045D 压力计好处
与所列真空计完全兼容
更低的 CoO(拥有成本),预热速度加快 50%,节能低功耗
易于集成,各种满量程、法兰和接口,标配两个设定点
简单的一键式或远程信号零指令,零偏移可调
用于快速服务和维护的诊断端口
两年质保,先进的加热理念和仪表保护,使用寿命更长
由于出色的信号稳定性和可重复性,即使在苛刻的等离子体应用中也无需长期重新校准
合规性和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
INFICON SKY CDG045D 压力计典型应用
蚀刻、CVD、PVD等半导体生产工艺
化学和腐蚀性真空过程
一般薄膜和真空工艺
根据国际标准监测测试仪器的参考传感器
溯源性测量的传输标准