EVG处理系统EVG120
EVG处理系统EVG120

EVG120 是一款结构紧凑、经济高效的光刻胶加工系统，可在洁净室空间有限时启动生产。®

特征

技术参数

新型EVG120通用全自动光刻胶加工工具能够加工各种形状和尺寸达200 mm/8“的基材。新一代EVG120采用新的超紧凑设计，具有新开发的用于外部存储化学品的化学柜，同时提供更高的吞吐能力，针对大批量客户需求进行了优化，并准备在大批量生产（HVM）中使用。EVG120 为用户提供了一系列其他工具都无法比拟的优势，并以极低的拥有成本保证了各个应用领域的最高质量标准。

特征

晶圆尺寸可达 200 mm

超紧凑设计，占地面积极小

多达 2 个涂层/显影室和 10 个热/冷却板

用于旋涂和喷涂、显影、烘烤和冷却的多功能模块组合在许多应用领域提供了巨大的机会

用于外部储存化学品的化学柜

EV集团专有的OmniSpray超声波雾化技术在极端地形的保形涂层方面提供了无与伦比的工艺结果®

盖旋TM旋转盖，可降低抗蚀剂消耗并优化抗蚀剂涂层均匀性

用于清洁、sono-化学加工和开发的兆音速技术提高了工艺效率，并将工艺时间从几小时缩短到几分钟

经过现场验证的精密机器人处理，具有双末端执行器功能，可确保连续的高吞吐量

卓越的工艺技术和开发服务

多用户概念（无限数量的用户帐户和配方，可分配的访问权限，不同的用户界面语言）

智能过程控制和数据分析功能 [框架软件平台]

用于过程和机器控制的集成分析功能

设备和工艺性能跟踪功能

并行/排队任务处理功能

智能抓取功能

发生和警报分析

智能维护管理和跟踪

EVG120

技术参数

可用模块

旋转外套 / OmniSpray / 开发®

烘烤/冷藏

晶圆处理选项

单/双EE/边缘处理/晶圆翻转

弯曲/翘曲/薄晶圆处理

智能过程控制和数据分析功能（框架软件平台）

用于过程和机器控制的集成分析功能

并行任务/排队任务处理功能

设备和工艺性能跟踪功能

智能抓取功能

事件和警报分析/智能维护管理和跟踪