STEMINC 225压力传感器

STEMINC 225压力传感器

 数据表  操作说明

产品概述

Setra 的 225 型非常适合高纯度气体输送系统半导体工艺，以及需要超洁净操作、高吞吐量性能和卓越长期稳定性的控制应用。

GCT-225 采用 0.11 in3 的低腔容积设计，几乎消除了颗粒截留，可轻松清除。所有接液部件均采用 316L VIM/VAR 不锈钢钝化至 5 Ra （7 Ra.max.） 的电压，可消除表面不规则性，并提供适当的表面化学成分以实现耐腐蚀性，确保无污染的气体分布。每个传感器都是质谱仪氦气泄漏测试，达到1 x 10-9 ATMCC / sec。

225 型系列配有可旋转盖，便于检修 12 圈电位计，以进行调零和量程调节。标准旋转公头或母头端面密封压力接头满足半导体行业要求。此外，还提供其他几种配件样式。

225（如果提供 5 VDC、10 VDC 或 4-20mA 输出）。提供六英尺多反图标电缆或卡口连接器，用于电气端接。Setra 获得专利的可变电容传感器采用 VIM/VAR 316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。在传感器主体和电极板之间形成可变电容器。压力的增加会导致膜片轻微倒圆，从而降低电

卓越的稳定性避免停机

EMI/RFI 抗扰度可防止误断

坚固的设计可实现无故障安装

高精度：满量程±0.25%

稳定的陶瓷传感器

环境坚固

紧凑尺寸：2“ 直径 x 1” 宽

出色的长期稳定性：0.25% FS/6 个月。

快速响应时间