POLYTEC 分析仪MSA-60

POLYTEC 分析仪MSA-60

MSA-600系列

微系统分析仪

测量MEMS和微观结构的动态响应和形貌

测量MEMS和微观结构的动态响应和形貌

表面形貌以及动态运动分析和可视化是测试和开发微结构的关键，例如MEMS器件（微机电系统）。它们对于验证有限元计算、确定串扰效应和测量表面变形是必不可少的。MSA-600 微系统分析仪是一体化光学测量工作站，用于表征表面形貌以及面内和面外运动。

MSA-600-M/V 版本涵盖高达 25 MHz 的频率范围，非常适合 MEMS、MEMS 麦克风和其他微系统。MSA-600-X/U 版本涵盖高达 2.5 GHz 的高频率和超高频范围，非常适合评估 HF MEMS 谐振器、SAW、BAW 等微声学器件。

突出

用于微观结构的一体化光学测量工作站

实时响应测量（无需后处理）

MSA-600-M/V 版本，频率高达 25 MHz

MSA-600-X/U 版本，频率高达 2.5 GHz

无与伦比的 pm 以下位移分辨率

挠度形状的快速测量和可视化

简单直观的操作

自动化系统，可轻松集成到探针台中

用于MEMS的一体化光学测量解决方案

MSA-600 微系统分析仪提供更高的测量灵活性和精度，适应当今和未来微观结构的需求。微系统分析仪提供精确的 3D 动态和静态响应数据，可提高器件性能，同时降低开发和制造成本。因此，它增强并缩短了设计周期，简化了故障排除，提高了产量。

高性能激光多普勒测振仪提供快速、实时的响应测量，位移分辨率低于 pm。白光干涉仪选件可在数秒内提供数百万个 3D 表面数据。MSA-600辅以简单的操作和直观的用户界面，是研究，开发（R&D）和质量控制（QC）中强大的光学测量解决方案。微系统分析仪与普通探针台兼容，可在开发的所有阶段（从MEMS原型设计到测试和故障排除）为您提供帮助，从而帮助您降低生产成本并缩短上市时间。