PROCOM半导体NovaTCAD

PROCOM半导体NovaTCAD

NovaTCAD

NovaTCAD 是一款基于windows操作系统研发、经济型且易于使用的模拟软体，用于微电子应用的模拟，本软件是结合了Crosslight的基本模拟工具，包括MaskEditor、SimuCsuprem、SimuApsys、CrosslightView和Layerbuilder 2D/3D，提供用户全新的模拟体验。

模式

2D准3D混合式3D和全3D的工艺仿真

2D和全3D的器件仿真

叠加式网格层

易于进行准3d及全3D的工艺仿真

具体可靠且具有弹性

大大减少网格的数量

工艺仿真

Gauss模型、Pearson模型、SIMS資料與使用者自訂模型

Gauss模型、Pearson模型、SIMS资料与用户自定义模型

自动或使用者控制切换四种不同蚀刻类型

可进行先进的全3D扩散模型与GPU模拟

应变硅、碳化硅以及氮化镓材料组成的系统

所有杂质的活化模型

其他模拟

器件仿真

从先前储存的状态重新开始

业界领先的数值收敛

大量材料模型

热载流子的流体力学模型

量子通道与传输

热离子发射模型

热传导方程式

深能级缺陷与缺陷动态

界面状态

Poole-Frenkel 模型

自洽性量子井计算

热效应模型

碰撞电离

其它模拟

SimuGPU

GPU加速计算，依网格大小与结构组成，最快可达到比CPU型计算快三倍的模拟。

GPU模拟可用于CSUPREM(例如：3D扩散)工艺仿真以及APSYS器件仿真。

超合并

合并两个独立的工艺仿真以进行3D器件模拟，适用于复杂3D结构，如：金属互联仿真。

弯曲网格平面

高效能网格，适用于极复杂的3D模拟，平面与弯曲的网格平面做独特的结合。

AutoTCAD

AutoTCAD 提供实验性设计(DOE)的特性。