PROVIBTECH 控制器 SideTrak® 830/840
PROVIBTECH 控制器 SideTrak® 830/840

质量流量计/ 控制器 - SideTrak® 830/840

塞拉仪器

高级模拟质量流量计

要精确测量任何清洁干燥气体（包括混合物、有毒物质、腐蚀性气体和可燃气体）的质量流量，请考虑我们的 830 MFM 型。830 型是过程监控、气体混合和流量校准等众多应用的理想选择。

Sierra 的 830 型采用 Sierra 的专利传感器设计，带有接入端口，便于传感器清洁。此外，Sierra的铂金传感器技术消除了零漂移，并具有出色的长期可靠性。

精度为满量程的 +/- 1%

316不锈钢结构

流量范围从 0-10 sccm 到 0-500 slpm

直接监测质量流量

“主要标准”校准，以实现最佳准确性和NIST可追溯性

CE 认证

800 系列流量传感原理

Sierra 的 Side-Trak 和 Auto-Trak 流量计和控制器的工作原理基于传热和热力学第一定律。在操作过程中，气体进入仪器的流体并分为两条流路，一条通过传感器管，另一条通过层流元件旁路。层流元件旁路产生压降P1-P2，迫使总流量的一小部分通过传感器管（m1），然后对其进行监控。

传感器管周围的两个电阻温度检测器（RTD）线圈将恒定量的热量（H）引导到气流中。在实际操作中，气体质量流量将热量从上游盘管传递到下游盘管。由此产生的温差（∆T）由RTD线圈检测。

图1-2和1-3显示通过传感器管的质量流量与线圈的温差成反比。线圈是桥式电路的支路，其输出电压与线圈电阻的差异成正比;结果是温差（∆T）。另外两个参数，热输入（H）和比热系数（Cp）都是常数。得到的输出在传感器的正常工作范围内几乎是线性的。

对于质量流量控制器，一旦气体流过监测部分，它就由内置的伺服控制阀控制。对于流量高达500 slpm，Sierra专有的高效FastTrak电磁阀被使用。常闭的 FastTrak 阀类似于开/关电磁阀，不同之处在于调节阀线圈的电流，从而调节磁场，以便铁磁阀电枢或阀塞假定维持阀门指令流所需的阀门孔口以上的确切高度。结果是几乎无限的分辨率。所有带有 Fast-Trak 阀的控制器都提供“软启动”选项，用于需要它的过程。

对于 50 至 200 scfm 的更高流量，控制器配备了 Sierra 的微处理器控制的电动旋转阀。虽然旋转阀不能提供完全正向的关闭，但它确实为更高流量的安装提供了精确的控制。