PROVIBTECH 控制器 MassTrak® 810C

PROVIBTECH 控制器 MassTrak® 810C

质量流量控制器 - MassTrak® 810C

塞拉仪器

经济型模拟质量流量控制器

我们的MassTrak®型号810C旨在控制空气和所有惰性气体和混合物的流量，以实惠的价格满足与任何行业标准MFC相同的性能标准。我们的 810C 型号提供大型 LCD 读数，并提供两个同步模拟输出信号，0-5 VDC 和 4-20 mA。控制阀具有吹扫模式和来自外部触点的阀门关闭命令。内置设定点控制和简单的 24 VDC 电源，无需单独的电源和读出电子设备，而这些电源和读出电子元件的成本可能与新的 MFC 一样高。

精度为满量程的 +/- 1.5%

直接监测质量流量

流量范围从 0-10 sccm 到 0-50 slpm

用户可选的本地或远程设定点

大型液晶读数

与所有惰性气体和混合物一起使用

“主要标准”校准，以实现最佳准确性和NIST可追溯性

CE 认证

工作原理

810 质量计流量传感原理

Mass-Trak传感器的工作原理是基于传热和热力学第一定律。在操作过程中，气体进入仪器的流体，在那里遇到层流旁路。层流旁路产生压降P1~P2，迫使总流量的一小部分通过传感器管（m1）。其余的流继续流经身体（m2）。

传感器管周围的两个电阻温度检测器（RTD）线圈将恒定量的热量（H）引导到气流中。在实际操作中，气体质量流量将热量从上游盘管传递到下游盘管。由此产生的温差（OT）由RTD线圈检测并给出输出信号。由于气体分子带走热量，输出信号与气体质量流量成线性比例。

RTD线圈是桥式电路的支路，其输出电压与线圈电阻的差异成正比;结果是温差（OT）。另外两个参数，热输入（H）和比热系数（Cp）都是常数。得到的输出在传感器的正常工作范围内几乎是线性的。

对于质量流量控制器，一旦气体流过监测部分，它就由内置的伺服控制阀控制。Mass-Trak的所有型号都采用Sierra专有的高效Fast-Trak电磁阀。常闭的 Fast-Trak 阀类似于开/关电磁阀，不同之处在于调节阀线圈的电流，从而调节磁场，使铁磁阀电枢或阀塞具有维持阀门指令流所需的阀门孔口以上的确切高度。结果是几乎无限的分辨率。