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KEYENCE 传感器 IV-HG15
KEYENCE 传感器 IV-HG15
| 干涉测量传感器在测量区域的整个表面上发光。他们在上下移动光学单元的同时，从同轴且无盲点的干涉光中即时计算出多个点的高度信息。 |
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| 白光干涉原理允许对透明或镜面目标、粗糙金属表面和黑色橡胶等各种目标的 3D 轮廓、表面粗糙度和线条粗糙度进行高速、高精度测量。这些测量不受目标材料和颜色的影响。与使用三角测量的一维激光位移传感器的测量不同，反射光不会被表面特征（例如凹槽末端和其他此类狭窄位置）阻挡，因为同轴测量是使用来自表面的光进行的。由于不受目标轮廓的影响，因此可以进行高速且稳定的测量。 |
| 下面说明白光干涉法的基本原理以及 KEYENCE 的 WI-5000 系列 3D 干涉测量传感器（支持在线 3D 测量）的机制和测量原理。 |
| 白光干涉原理 |
| 光的干涉是当光从目标表面到某一点的传播距离（光路）存在差异时发生的现象。在白光干涉法中，一束光从白光源发出并照射在目标上，而另一束光被参考镜反射。然后从这些光束的干涉水平测量目标表面上特征的高度或深度。 |
| 3D干涉测量传感器机制和测量原理 |
| 本节以图详细说明 KEYENCE 的 WI-5000 系列 3D 干涉测量传感器的机制和测量原理，该传感器使用白光干涉法对各种材料、颜色的目标进行高速、高精度的在线测量和配置文件。 |
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