THIERRY 离子 PT600R

THIERRY 离子 PT600R

低压等离子体应用的一个重要领域是聚二甲基硅氧烷（PDMS）微流体器件的键合。PDMS在用氧等离子体激活时在微流体组件的制造中很重要。当PDMS组件和含硅结构被等离子体激活时，它们能够在没有粘合剂的情况下粘合在一起。与使用粘合剂相比，这种不使用粘合剂的粘合方法可以产生更小的特征。

PDMS键合和微流体功能原理

PDMS是一种可浇注的惰性有机硅，用于呈现其浇注到的模具的微流体通道和结构的形状或形式。这些铸造结构由模具底部产生的凸起形状形成。当 PDMS 在模具中铸造并移除时，模具底部的形状将转移到铸造的零件中。

然后将这些铸造部件置于氧等离子体中，与含玻璃或硅的配合部件。当零件被氧等离子体激活，然后精确地放置在一起时，这些零件将粘合在一起。键特性是共价的，这意味着PDMS部分和配接部分共享电子，产生非常强的键。

在粘接 PDMS 设备时，重要的是要确定您是否需要设备进行简单的能力证明或工具来优化和批量重复该过程。有多种产品可用于粘接 PDMS。了解细微的差异对于确保您的等离子体处理应用成功非常重要。

生产微流体装置的应用是相对较新的技术，其应用在对流体化学进行过程评估的工业中。通过微流体的应用减小流体测试硬件尺寸和测试所需的流体体积的能力是推动该行业的关键标准。这些关键变量决定了医疗行业、生物技术和其他行业需要不断将这些设计方面应用于他们的个人需求。

飞秒版本 1

控制柜：

宽 310 mm 高 330 mm D 420 mm

腔室：

Ø 3.9 英寸，L 10.9 英寸

腔室容积：

2

供气：

1个气体通道，通过针阀

发生器：

1 个 40 千赫

（可选：13.56 兆赫或 2.45 千兆赫）

控制：

半自动

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等离子体活化

飞秒版本 5

控制柜：

宽 310 mm 高 330 mm D 420 mm

腔室：

Ø 3.9 英寸，L 10.9 英寸

腔室容积：

2

供气：

质量流量控制器

发生器：

1 个 40 千赫

（可选：13.56 兆赫或 2.45 千兆赫）

控制：

触摸屏

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等离子蚀刻

纳米版本 5

控制柜：

宽 600 mm 高 1700 mm D 800 mm

腔室：

Ø 10.5 英寸，长 16.5 英寸

腔室容积：

24

供气：

2个气道通过针阀

发生器：

1 个 40 千赫

（可选：13.56 兆赫或 2.45 千兆赫）

控制：

半自动

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等离子涂层

纳米版本 6

控制柜：

宽 600 mm 高 1700 mm D 800 mm

腔室：

Ø 10.5 英寸，长 16.5 英寸

腔室容积：

24

供气：

质量流量控制器

发生器：

1 个 40 千赫

（可选：13.56 兆赫或 2.45 千兆赫）

控制：

电脑

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PDMS等离子体处理

泽普托版本3

控制柜：

宽 425 mm 高 185 mm D 450 mm

腔室：

Ø 4.1 英寸，L 11.8 英寸

腔室容积：

2.6

供气：

质量流量控制器

发生器：

1个，40千赫

（可选：13.56兆赫）

控制：

触摸屏

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PDMS等离子体处理

阿托版本 3

控制柜：

宽 425 mm 高 275 mm D 450 mm

腔室：

Ø 8.3 英寸，L 11.8 英寸

腔室容积：

10.5

供气：

质量流量控制器

发生器：

1个，40千赫

（可选：13.56兆赫）

控制：

触摸屏

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