FLEXI-FLOW

紧凑型质量流量测控多通道解决方案

FLEXI-FLOW概念为OEM客户提供定制设计选项，集成各种多通道质量流量和压力计/控制器组合成微流控系统。以下功能模块可配置成紧凑的子系统：质量流量计/控制器、压力计/控制器、切断阀、混合腔。该“即插即用”装置确保空间节约、成本控制和潜在泄漏点的最小化。

典型应用案例：生物处理气体供应、分析系统中的流量/压力控制、燃料电池堆的泄漏测试。

FLEXI-FLOW 多通道MFC优势

紧凑型装置，节约空间

经济型方案，节约成本

定制组件上的功能组合（即无管结构）减少潜在泄漏点

预测试“即插即用”模块，减少定制测试要求

多总线通信接口(Ethernet，CAN，串口)

FLEXI-FLOW多通道质量流量测控解决方案

应用

FLEXI-FLOW系列在许多不同市场具有巨大潜力，例如：

生物处理系统

分析应用

燃料电池组泄漏测试

反应溅射

FLEXI-FLOW Compact FF-M10 和 FF-M11紧凑型气体质量流量计适用于工作压力在真空和17 bar（a）条件下精确测量0...500 毫升n/min 和 0...20 公升n/min之间的流量。仪表结合基于毛细管MEMS技术快速稳定的热式质量流量传感器和可靠精确的旁路结构。基于TCS技术，建立准确的质量流量测量，不受温度和管路压力变化影响。与集成温度和上下游压力传感器相结合，22种气体的嵌入式数据库实现精准集成转换。多参数仪表可提供过程信息：

FF-M10：流量+温度

FF-M11：流量+温度+上下游压力