高纯度气体应用

Bronkhorst金属密封气体质量流量测量仪表和控制器以其独特的、专利全金属密封结构为特征。除此之外，该款流量计还以其高性能、高质量将其与市场上的其它产品区分开来，因此，该款仪器特别适合于半导体产业以及高纯度气体运用场合。质量流量测量仪表和控制器的表体使用的是 1/4″ VCR 连接。

最小流量范围：0.12…6 mln/min

最大流量范围： 1… 50 ln/min

目前市场上的仪表都内置集成数字电路板，从而使仪表具有高精度、超稳定的温度以及快速的反应时间的特点（可设置的时间从 t98 可以低至500 msec）。最新的EL-FLOW® 设计风格的产品具有多气体/多范围功能，从而为客户（OEM）提供了可选的灵活性以及高效率工艺。为了方便客户，布琅轲锶特高科技公司还提供了免费的且方便运用的配置软件。

特点

高精确度 (标准 0.5% Rd + 0.1% FS)

可进行重复密封的全金属外部密封结构（无密封圈）

电抛光过流部件

无尘组装

多介质/多范围可调节功能

模拟通讯和数字I/O, 可与如下任意集成接口连接：

DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS

无零飘（不需要零点自动调整电路）

高精度、重复性高

Brochures

Metal Sealed Mass Flow and Pressure Download

Manuals

Quick installation guide EL-FLOW Select Download

Manual EL-FLOW Select (incl. EL-FLOW Metal Sealed) Download

Hook-up diagrams

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DeviceNet Download

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