FF-C1x

紧凑型气体质量流量控制器

紧凑型气体质量流量控制器

快速稳定控制

集成气体转换模块

22种气体嵌入

多参数输出：质量流量、温度和压力

USB-C和蓝牙通信

那慕尔 NE107状态指示

FF-C1x紧凑型气体质量流量控制器

小流量气体质量流量控制器

FLEXI-FLOW 紧凑型质量流量控制器适用于工作压力在真空和17 bar（a）条件下精确测量0...500 毫升n/min 和 0...20 公升n/min之间的流量。仪表结合基于毛细管MEMS技术快速稳定的热式质量流量传感器和可靠精确的旁路结构。基于TCS技术，建立准确的质量流量测量，不受温度和管路压力变化影响。与集成温度和上下游压力传感器相结合，22种气体的嵌入式数据库实现精准集成转换。多参数仪表可提供过程信息。

FLEXI-FLOW紧凑型质量流量控制器目前可选：

“预配置高端型” （PA）， 量程比 1：500， 流量 + 温度 + 上下游压力， 4 个量程 （FS， N2当量）：

类型 FF-A500 – 500 mln/分钟

类型 FF-A2K0 – 2 升n/分钟

型号 FF-A5K0 – 5 升n/分钟

型号 FF-A20K – 20 升n/分钟

“预配置标准型”（PS）， 量程比 1：50， 流量 + 温度， 4个量程 （FS， N2当量：

类型 FF-S500 – 500 mln/分钟

型号 FF-S2K0 – 2 升n/分钟

型号 FF-S5K0 – 5 升n/分钟

型号 FF-S20K – 20 升n/分钟

“定制”（BtO）， 量程比 1：1000;可选量程0.5 和 20 ln/min （FS， N2当量），

类型 FF-C10： 流量 + 温度

类型 FF-C11： 流量 + 温度 + 上下游压力;

BtO型号也适用于多通道配置，高达8个通道。

技术参数

测量/控制系统

流量范围（提供中间范围） 最小 0...500 毫升n/分钟

最大 0...20 公升n/分钟

（基于 N2)

压力范围 PA： 0...17 巴（a）

PS： 不可用

BtO： FF-C10： 不可用 / FF-C11： 0...17 巴（a）

精度（包括线性度）（基于实际校准） PA： ±0，8% Rd 加 ±0，2% FS （N2/空气/O2);

PS： ±1，5% Rd 加上 ±0，5% FS （N2/空气/O2);

BtO：高达 ±0，5% Rd 加上 ±0，1% FS （N2/空气/O2);

对于其他气体增加转化不确定性;见多气表;

重复性 流量传感器： < ±0，2% Rd;

压力传感器： < ±0.2% 满量程

调节比 PS： 1：50

PA： 1：500

BtO： 高达 1：1000

最大工作压力 16 巴克

多气体/多量程 22 种独特气体以及这些气体的任何混合物的嵌入式气体数据

建立时间（受控，典型值） < 150 毫秒

长期稳定性 < 0，5% FS 在 3 年内;然后每年<0，2%FS

控制稳定性 < ± 0，1% 满量程（典型值为 1 升n/最小 N2)

工作温度 0...50 °C

安装 任何位置，姿态灵敏度可忽略不计

温度灵敏度 流量传感器： 零 0，0015% FS/ºC;跨度 0，03% Rd/ºC;

压力传感器：零 0.16 毫巴/ºC;量程 0，05% Rd/ºC

温度精度 ± 0.2 ºC（仪器体温）

精密压力传感器 ±0，5% 满量程

压力灵敏度 标准：< 0，15% Rd/bar 典型 N2;

带压力校正：< 0.02% Rd 典型 N2

泄漏完整性，舷外 经测试< 2 x 10-9mbar l/s He

通过闭阀泄漏 典型值 5 x 10-5mbar·l/s He

机械零件

材料（接液部件） 铝，不锈钢，氮化硅，环氧树脂，氧化铝，玻璃

表面质量 < 1,6 mu Ra (<0,8 mu Ra for stainless steel body)

压力等级 （PN） 16 巴（克） / 250 磅/加仑/加仑

最大 ΔP 16 巴（d）;

20 ln/min 型号：5 巴 （d）

过程连接 BtO：压缩式，推入式或端面密封联轴器;

PS / PA：需单独订购

海豹 FKM 51415;阀座：FFKM 带 PI 膜

BtO 选件：其他材料请联系工厂

重量 200 克，带铝制机身，300 克，带 SS 316 机身

入口保护 防护等级 IP40

仪器本体 BtO：铝或不锈钢（可选）;

PS / PA： 铝

电气特性

电源 24 V 直流 ± 10%

最大功耗 2，0 瓦

数字通信 Modbus RTU 或 FLOW-BUS （可选）

支持接口 USB-C端口，易于设置;

用于监控的可选蓝牙连接

电气连接 9 针 D 型低音炮（公头）

电气连接

公元100年 EMC 2014/30/EU、RED 2014/53/EU、RoHS 2011/65/EU