主营:AE(ADVANCED ENERGY)电源、AE(ADVANCED ENERGY)温度控制仪器、 AE(ADVANCED ENERGY)功率控制器AE(ADVANCED ENERGY)快速高温计、AE(ADVANCED ENERGY)电源系统 、AE(ADVANCED ENERGY) 离子源
功率转换技术的全球引导者 Advanced Energy推出用于金属和反应溅射的 Solvix by AE DC 和脉冲直流电源。 该系列提供准确的控制和久经考验的可靠性——由 AE 的全球支持网络提供支持。 Solvix by AE 电源提供广泛的功率和频率水平、脉冲和多种通信选项,为您的独特工艺提供坚固且经济的解决方案。Solvix by AE 系列具有高度发达的直流和脉冲直流技术,以及去除潜在故障点的流线型设计。这些坚固的电源在世界的制造工厂建造,获得了挑剔的 OEM 审核员的高分,可提供可靠、一致和准确的性能。
性能特点
久经考验的可靠性、准确性和可重复性
全球支持网络
减少基材损坏和工艺污染
适应广泛的工艺要求
高吞吐量
效率高的安装和服务
直流和脉冲直流单元
电流、功率和电压调节模式
灵活的架构
风冷和水冷
多个单元可配置以满足高功率要求
PDX低功率(1250 和 1400 W)系列中频电源为各种工艺应用提供紧凑、易于集成的电源。 这些高度可靠的电源增强了工艺灵动性,提供了用于优化工艺控制的宽工作频率范围,确保了高工艺可重复性,并提高了产量。LP PDX 电源的准确测量提供了准确、高度可重复的过程控制,有助于确保过程一致性和高吞吐量。 其广泛的工作频率范围可在各种应用中提供控制。PDX 1250 电源使用单 φ 输入,而 PDX 1400 电源使用三 φ 输入。 PDX 1250 电源现场人口的平均故障间隔时间超过 200,000 小时。
性能特点
提高流程灵动性
提高吞吐量
优化过程控制
确保高重复性
简化集成
低谐波失真的正弦射频输出
用于优化过程控制的宽工作频率范围
严格调节的输出功率
低 EMI/RFI
远程操作能力