随着制造技术的进步，新材料和阴极设计对工艺稳定性和薄膜可重复性提出了更大的挑战。 无论工艺材料或阴极设计如何，Ascent AMS 电源都能提供稳定、可重复的功率。

AE 的专有 AMS 技术即使在恶劣电弧条件下也能保持薄膜质量和可重复性。 这些增强的电弧处理能力使AZO和IGZO等新型材料取得成功。

性能特点

高薄膜质量和产量

减少薄膜、基材和设备损坏

易于集成和控制

Arc Management System (AMS) 技术——金属和陶瓷靶材的客户预设

设定点补偿技术

Arc Sync 技术——主要/次要多达 12 个单元

以太网、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、RS-232/485、以太网/IP 和模拟通信

自动电弧处理无需调整电弧管理参数

初级电弧响应快速去除电弧中的功率

二次电弧响应冷却表面并淬灭二次电弧

受控功率恢复可大限度地减少过冲和二次电弧

MDX 500 旨在用于在真空环境中连续使用。 它在基本磁控溅射、带射频偏压的直流溅射和直流偏压射频溅射方面处于优先地位。 它的小尺寸使其非常适合实验室系统和小规模生产环境。MDX 500 体积小巧且价格合理，提供良好的精度和可重复性。

性能特点

用户 I/O 访问

控制面板提供的许多功能也可通过用户界面使用：打开和关闭输出； 指定输出调节的方法； 完成系统联锁字符串； 指定输出设定点； 并监控输出参数和状态。

内置保护

MDX 500 对所有过载情况都有完整的内部保护。 用户端口上的三个独立引脚和一个前面板指示灯用于相关输入，例如真空、水和辅助（用户指定）联锁。

合规认证

有几种符合 CE 标准的 MDX 500 型号可供选择。 这些型号符合 EN50081-2（辐射）、EN50082-2（抗扰度）和 EN50178的要求。 它们还符合德国标准 DIN VDE0160 的要求。

可靠性和可维护性