主营:AE(ADVANCED ENERGY)电源、AE(ADVANCED ENERGY)温度控制仪器、 AE(ADVANCED ENERGY)功率控制器AE(ADVANCED ENERGY)快速高温计、AE(ADVANCED ENERGY)电源系统 、AE(ADVANCED ENERGY) 离子源
AE 通过引入双极脉冲直流技术打破了双磁控溅射范式,提供了等离子体控制,而以前只有有限的控制。 Ascent AP 电源通过在双磁控溅射和现在单磁控溅射的紧凑型解决方案中引入额外的控制参数,进一步扩展了您优化输出的能力。Ascent AP 解决方案主动克制电弧,其广泛的操作范围解锁了一系列材料选项,以扩展工艺灵动性和材料创新。
性能特点
波形定制,可扩展对供电参数的访问
脉冲技术可实现显着的电弧预防、更高的功率水平和更高的吞吐量
紧凑的单机解决方案(高达 30 kW)
设定点补偿™ 技术可实现稳定的吞吐量
操作范围广,可实现多种工艺材料
电介质和导电薄膜的准确溅射
提供单磁控管和双磁控管配置
扩展的过程控制、灵动性和创新
高薄膜质量和产量
可重复、可定制的电影
更高的功率水平,减少电弧损坏
易于集成和控制
超低纹波(低至 10 mV)确保高性能质谱应用中的分辨率
输入直流噪声克制滤波器
小尺寸和模块化设计,可提供正或负输出极性
可靠并效率高运行
输出电压从 1 到 20 kV 可根据要求提供客户定义的衍生产品
高稳定性和低漂移,确保在长时间运行中保持一致的性能
坚固的设计,可容忍输入信号噪声,降低系统集成成本
高可靠性和高性能至关重要的质谱分析的理想解决方案
iTek Power MSP 系列是一系列多用途、低纹波质谱电源,非常适合用于样品电离、质量过滤器和离子检测器应用。 MSP 质谱高压电源的模块化设计提供了一系列性能特征和组合,例如可定制的电缆长度和连接器类型。