用于激光故障注入的S-LMS显微镜站是集成电路安全评估的高精度平台。它允许将激光点聚焦在芯片上并通过背面扫描样品，以评估电子元件的安全级别。S-LMS显微镜允许注射、聚焦和扫描一个激光点至1米的点大小，同时用红外摄像机从背面观察样品。

性能特点

980 和/或 1064 nm 的单模激光

脉冲亚纳秒到连续波

时间精度 <8 ps

频率高达 250 MHz

>92% 透射率

同轴红外视觉

可以由Python控制和驱动

可选功能与配件

光电发射选项

激光热刺激选项

esDynamic软件平台

技术参数

单模光纤激光器

PDM+/PDM+ HP

PDM4+ and PDM4+ HP

脉冲持续时间

从1.5纳秒到连续波

从1.5纳秒到连续波

峰值功率

高达3.2瓦

高达10瓦

波长

980纳米；1064牛米

980纳米；1064牛米

重复率

从单发到250兆赫

从单发到250兆赫

命令接口

TTL/LVTTL /软件& dlls

TTL/LVTTL /软件& dlls

光束质量

单模

单模

InGaAs 红外相机

Captor

640x512 µm

动态量程

140 dB

接口

USB(包含软件)

电学

电压

220 V/110 V

电流

16 A

自动位置调节系统

轴数

3

行程范围

52 mm

分辨率

0.315 µm

重复性

+/- 0.8 µm

速度（max.）

20 mm/s

产品应用

故障注入

光发射

热刺激

详细参数

产品应用