VAT泄漏阀59024-GEGG
VAT泄漏阀59024-GEGG：

59.0 UHV 全金属可变泄漏阀允许准确控制非常小的气体流量（1·10-10 mbar ls）。 凭借其全金属设计，它非常适合 UHV 和UHV 工艺中的气体计量要求。

59.0 的特殊控制功能保证了可重复的准确气体流量设置，增强了过程控制能力。它还在整个生命周期内提供可靠、无泄漏的关闭，没有任何密封疲劳的风险。

全金属设计——不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸门密封——使 59.0 还具有对腐蚀性和腐蚀性气体的高耐受性。

59.0 已经安装在各种工艺条件下的数千种苛刻应用中，证明了其可靠性。它已成为 UHV 和 XHV 应用中可变泄漏阀的标准解决方案。

性能特点

用于气流的高精度气体计量

准确重现的气体流量设置

可靠的终生防漏密封

耐腐蚀性和腐蚀性气体

气体流量下的压力控制

增强的过程可控性

正常运行时间长