GEMU盖米C53 iComLine电动控制阀

GEMU盖米C53 iComLine电动控制阀描述

2/2 通隔膜截止阀GEMU盖米 C53 iComLine 专为半导体生产中的精确和苛刻的控制应用而开发。阀门的密封概念基于久经考验的盖米 PD 设计，其中执行器和介质由 PTFE 调节锥体隔开。由于可以定制调节锥轮廓、执行器行程和连接尺寸以满足客户的要求，GEMÜ C53 iComLine 几乎可以满足高科技半导体行业的所有控制和流量要求。由于精密步进电机与超纯机身材料的结合，它特别适用于光刻、CMP和蚀刻工艺，以及任何半导体生产分析领域的应用。

GEMU盖米C53 iComLine电动控制阀特征

用于半导体行业超纯应用的控制阀

带步进电机的高分辨率线性执行器

基于 iComLine 系列的隔膜截止阀

久经考验的插头隔膜设计

所有介质接液部件均由 PFA 或 PTFE 制成

100 万次合格的控制开关循环

洁净室制造（HP 版本），符合 SEMI F 57

GEMU盖米C53 iComLine电动控制阀技术规格

介质温度：10 至 150 °C

环境温度：0 至 40 °C

工作压力：0 至 6 巴

连接尺寸：1/4'' 至 3/4''

主体配置：2/2路主体

连接类型：Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®

阀体材料：PFA | 聚四氟乙烯 TFM™

密封材料：PTFE TFM™

电源电压：24 V DC

输入信号：0 - 10 V | 4 - 20 毫安

动作速度：最大 2 毫米/秒

防护等级：IP65