主营:FATHOM气体流量计,控制器,FATHOM空气流量计
IL 系列质量流量计和控制器利用“热质量传感器”进行直接质量流量测量。IL 系列具有独特的设计,与其他 MFC 不同。IL 控制器具有内联阀,可消除死区,显着缩短吹扫时间。其他 MFC 需要安装到流动体上的阀杆,增加了死空间和成本。IL 系列直列阀设计不需要阀柱,减少了零件和成本。IL 系列紧凑、轻便且经济,非常适合需要不锈钢结构的 OEM。
所有装置都经过 NIST 可溯源校准
接液材料 | 316不锈钢 |
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输出信号 | 0-5 VDC 线性或 4-20 MA 线性 |
输入功率 | 24 VDC 标准,可选 15 VDC 115 VAC,220 VAC @ 500ma |
准确性 | +/- 1% 满量程(包括线性度) |
重复性 | +/- 0.15% 满量程或更好 |
联系 | 9 针子“D” |
控制信号 | 积分或 0-5 VDC |
控制阀 | 电磁 N/C |
仪表范围 | 0-10 SCCM 至 30 SLPM |
控制器范围 | 0-10 SCCM 至 20 SLPM |
最大压力 | 250 磅/平方英寸 |
响应时间 | 1秒 |
温度系数 | 每 1º C 0.05% 满量程或更高 |
压力系数 | 每 PSIG 0.01% 满量程或更好 |