INFICON Edge™ CDG045D2边缘电容隔膜计

INFICON Edge™ CDG045D2边缘电容隔膜计产品介绍

Edge™ CDG045D2 - 45°C - 内部热，外部小

         INFICON Edge™ CDG045D2边缘电容隔膜计是一种高精度真空测量仪器，专为恶劣的制造环境而设计。经过验证的温控、耐腐蚀、超纯陶瓷传感器提供多年的卓越跨度稳定性和最先进的零稳定性。Edge 配备了 INFICON 获得专利的独特传感器防护罩，可保护仪表免受不良过程副产品的影响。先进的电子设备为所有应用和可选的 EtherCAT 现场总线接口提供范围广泛的可配置信号调理。创新的加热概念使接触面冷却并节省宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中最小的真空测量仪器。

INFICON Edge™ CDG045D2边缘电容隔膜计优势

紧凑，节省宝贵的工具空间

易于集成，EtherCAT，各种满量程和法兰，标配两个设定点

简单的一键式或远程信号零指令，零偏移可调

用于快速服务和维护的诊断端口

两年质保，先进的加热理念和仪表保护，使用寿命更长

由于出色的信号稳定性和可重复性，即使在苛刻的等离子体应用中也无需长期重新校准

合规性和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS。

INFICON Edge™ CDG045D2边缘电容隔膜计典型应用

CVD、Etch、PVD等半导体生产工艺

INFICON Edge™ CDG045D2边缘电容隔膜计技术规格

类型 1000 托，1100 毫巴 500 ... 1 托/毫巴

精度 (1) 阅读百分比 0.15 0.15

温度效应

在零 百分比FS/°C 0.0025 0.0025

在跨度上 % 读数 / °C 0.01 0.01

压力，最大值 kPa（绝对） 400 260

解决 百分比FS 0.003 0.003

最低读数 百分比FS 0.01 0.01

最低建议阅读量 百分比FS 0.05 0.05

最低建议控制压力 百分比FS 0.5 0.5

温度

传感器 ℃ 45 45

操作（环境） ℃ +10 … +40 +10 … +40

法兰烘烤 ℃ ≤110 ≤110

贮存 ℃ –20 … +65 –20 … +65

电源电压 +14 … +30 VDC 或 ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC 或 ±15 V (±5%)

能量消耗

加热过程中 宽 ≤15 ≤15

在工作温度 宽 ≤10 ≤10

输出信号（模拟） 伏（直流） 0 … +10 0 … +10

响应时间 (2) 多发性硬化症 30 30

防护等级 知识产权 40 知识产权 40

标准

CE符合性 CE符合性 EN 61000‑6‑2/-6-3、EN 61010 和 RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3、EN 61010 和 RoHS

ETL认证 ETL认证 UL 61010‑1、CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1、CSA 22.2 No.61010‑1

SEMI 合规性 SEMI 合规性 半 S2 半 S2

电气连接 D-sub，15 极，公 D-sub，15 极，公

设定点

设定点数 设定点数 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)

继电器触点

伏（直流）

≤30 ≤30

滞后 百分比FS 1 1

诊断端口

协议 协议 RS232-C RS232-C

读 读 压力、状态、ID 压力、状态、ID

放 放 设置点、过滤器、调零、恢复出厂设置、直流偏移 设置点、过滤器、调零、恢复出厂设置、直流偏移

暴露在真空中的材料 氧化铝陶瓷（AI 2 O 3），不锈钢（AISI 316L (4)） 氧化铝陶瓷（AI 2 O 3），不锈钢（AISI 316L (4)）

内部容积

I. 体积 1/2'' 管 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)

一、体积 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)

一、容积DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)

一、第 8 卷 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)

重量

重量 1/2'' 管 G 837 837

重量 DN 16 ISO KF G 852 852

重量 DN 16 CF-R G 875 875

重量 8 VCR® G 897 897