INFICON SKY CDG025D

INFICON SKY CDG025D产品介绍

       INFICON SKY CDG025D 电容膜片式高精度温度补偿压力计系列专为在恶劣的制造工具环境中保持稳定的性能而设计。先进的数字电子设备可提高仪表性能并提供易于操作的功能，例如一键归零功能和设定点调整。耐腐蚀陶瓷传感器提供出色的零稳定性，预期寿命长达数百万次压力循环，包括大气爆裂。独特的传感器屏蔽（正在申请专利）可保护仪表免受过程污染。稳健的机械设计和数字电子设备提高了 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为通电后的快速稳定性和从大气压力暴露中快速恢复设立了新标准。

INFICON 的 CDG025D可直接替代部件号

      INFICON 的 CDG025D 是以下所列部件号的直接替代品，并且可应要求提供许多其他的替代产品。

INFICON SKY CDG025D好处

与竞争产品完全兼容

满量程范围从 100 mTorr … 1000 Torr

上电后快速稳定

从大气压中快速恢复

耐腐蚀陶瓷传感器

出色的长期信号稳定性

温度补偿

传感器免受污染

一键归零功能

宽范围电源

INFICON SKY CDG025D典型应用

用于蚀刻、CVD、PVD、ALD的半导体制造设备

数据存储和显示制造设备

工业真空设备

通用高精度压力测量

INFICON SKY CDG025D技术规格

类型： ： 1000 托 / 1100 毫巴： 500 ... 10 托/毫巴： 1 托/毫巴： 0.25托： 0.1 托/毫巴

精度 (1)： 阅读百分比： 0.2： 0.2： 0.2： 0.25： 0.5

温度效应

在零： 百分比FS/°C： 0.005： 0.005： 0.015： 0.02： 0.02

在跨度上： % 读数 / °C： 0.01： 0.01： 0.01： 0.03： 0.03

解决： 百分比FS： 0.003： 0.003： 0.003： 0.003： 0.003

压力，最大值： kPa（绝对）： 400： 260： 260： 130： 130

响应时间 (2)： 多发性硬化症： 30： 30： 30： 130： 130

最低读数： 百分比FS： 0.01： 0.01： 0.01： 0.01： 0.01

最低建议阅读量： 百分比FS： 0.05： 0.05： 0.05： 0.05： 0.05

最低建议控制压力： 百分比FS： 0.5： 0.5： 0.5： 0.5： 0.5

温度

操作（环境）： ℃： +5 … +50： +5 … +50： +5 … +50： +5 … +50： +5 … +50

法兰烘烤 (3) ℃： ≤110： ≤110： ≤110： ≤110： ≤110

贮存 ℃： –40 … +65： –40 … +65： –40 … +65： –40 … +65： –40 … +65

电源电压： 伏（直流）： +14 … +30： +14 … +30： +14 … +30： +14 … +30： +14 … +30

能量消耗： 宽： ≤1： ≤1： ≤1： ≤1： ≤1

输出信号（模拟） 伏（直流）： 0 … +10： 0 … +10： 0 … +10： 0 … +10： 0 … +10

防护等级 ： 知识产权 30： 知识产权 30： 知识产权 30： 知识产权 30： 知识产权 30

标准

CE符合性： CE符合性： EN 61000‑6‑2、EN 61000-6-3、EN 61010 和 RoHS： EN 61000‑6‑2、EN 61000-6-3、EN 61010 和 RoHS： EN 61000‑6‑2、EN 61000-6-3、EN 61010 和 RoHS： EN 61000‑6‑2、EN 61000-6-3、EN 61010 和 RoHS： EN 61000‑6‑2、EN 61000-6-3、EN 61010 和 RoHS

ETL认证： ETL认证： UL 61010‑1、CSA 22.2 No.61010‑1： UL 61010‑1、CSA 22.2 No.61010‑1： UL 61010‑1、CSA 22.2 No.61010‑1： UL 61010‑1、CSA 22.2 No.61010‑1： UL 61010‑1、CSA 22.2 No.61010‑1

电气连接： ： D-sub，15 极，公： D-sub，15 极，公： D-sub，15 极，公： D-sub，15 极，公： D-sub，15 极，公

暴露在真空中的材料： ： 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 )、Vacon 70 (5)、不锈钢（AISI 316L (6)）、AgCuTi 硬焊料、密封玻璃： 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 )、Vacon 70 (5)、不锈钢（AISI 316L (6)）、AgCuTi 硬焊料、密封玻璃： 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 )、Vacon 70 (5)、不锈钢（AISI 316L (6)）、AgCuTi 硬焊料、密封玻璃： 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 )、Vacon 70 (5)、不锈钢（AISI 316L (6)）、AgCuTi 硬焊料、密封玻璃： 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 )、Vacon 70 (5)、不锈钢（AISI 316L (6)）、AgCuTi 硬焊料、密封玻璃