Setra压力传感器广泛应用于半导体行业的各个领域

更新时间：2023-01-06　　点击次数： 383次


　　Setra压力传感器可变电容材料具有极稳定的物理化学性能，可提供高达±0.02%FS的传感器，稳定性优于±0.05%FS，采用其它敏感原理产品难以达到。先进的检验电路可检测出敏感电容极微小的变化，从而具有高分辨率，如Setra的Model270大气压力传感器的分辨率可达0.005%FS。　　　　性能优势：　　1、测量范围宽：具有很宽的测量范围，它可对25Pa~70MPa范围的压力进行的测量，且具有的稳定性。　　2、长期稳定性好：与其他同类产品相比具有更高的稳定性，与其它传感器如金属应变式传感器不同，电容式传感器的蠕变，时效和温度影响均很小。几乎所有不利因素对电容式传感器输出稳定性的影响均小于其他形式的传感器。Setra压力传感器的零点稳定性可达到0.05%FS/年。　　3、高输出信号：电路可将电容的微小变化直接转换成高输出信号，而无需进行信号放大，压阻式传感器（薄模式，C式）输出信号低，易受外界信号干扰等缺点，而这通常是传感器稳定性差，受温度影响大，易受电磁波干扰的主要原因。　　4、防腐抗干扰性能好：与介质相接触的材料均采用不锈钢材料，因而可与许多酸碱溶液，腐蚀性气体或液体很好地相容。抗电磁场干扰高输出信号、抗干扰设计及采用金属外壳，使Setra压力传感器对外部电磁场具有很高的抑制能力，它具有与可编程控制相当的抗干扰能力。　　5、在恶劣环境中工作：非常经久耐用，它的工业级的产品可承受小107次测满量程压力循环，如果工作压力不，传感器的循环寿命几乎可达到长，而且其工业的产品均能承受100~200kg的冲击和小10~20的振动。　　　　Setra压力传感器广泛应用于半导体行业的各个领域，遍及半导体工艺的通用气和特气GDS系统，这些气体用于半导体集成电路制造的方方面面。　　1、现场过程压力测量；　　2、吹扫气体传输系统压力测量；　　3、传送室压力测量和控制；　　4、洁净室空气控制；　　5、泄漏检测；　　6、通风柜控制；　　7、激光干涉仪；　　8、太阳能等新能源。



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