瑞士Vogtlin 质量流量计

瑞士Vogtlin 质量流量计:

Vögtlin red-y系列用于气体的热式质量流量计和质量流量控制器应用：

气体分析

实验室设备

制药/生物/生命科学

研究和发展

和其他工业应用和解决方案

Vögtlin用于气体的热式质量流量计和质量流量控制器产品系列：

red-y art系列

气体质量流量计和质量流量控制器

red-y compact 系列

电池供电的气体数字质量流量计

d⋅flux multi 系列

多参数气体质量流量计和控制器

red-y 工业系列

质量流量计和质量流量控制器，适用于具有 IP67 和 Ex 保护的气体

Vögtlin用于气体的热式质量流量计和质量流量控制器优势：测量

模拟和数字接口

控制

选项：多气体（ 10 种气体）、Profibus、内置显示器

的配件（电缆、电源等）

测量范围从 25 mn/min 到 450 ln/min (27 CM – 480 SLPM)

Vögtlin red-y用于气体的高精度热式质量流量计和质量流量控制器产品属性：

red-y art系列

测量范围

空气/满量程自由选择 本体尺寸 ¼" 从 0 … 25 ln/min 到 0 … 60 ln/min（从 0 … 27 CM 到 0 … 64 SLPM）

本体尺寸 ½" 从 0 … 60 ln/min 到 0 … 450 ln/min（从0 … 65 SLPM 至 0 … 480 SLPM)

仪器版本

“标准"

经济解决方案 精度：满量程的 ± 1.0%*

调节比：1 : 50

具有高精度和调节比

（适用于 G < 200 ln/min (200 SLPM) /

G < 150 ln/min (150 SLPM)（空气）） 精度：满量程的 ± 0.3% + 读数的 ± 0.5%*

调节比：1 : 100

*±0.25% 的附加误差可能适用于模拟信号

性能数据

介质（真实气体校准） 空气*、O2*、N2、He、Ar、CO2、H2、CH4、C3H8（其他气体和气体混合物应要求提供）

*O2 和 N2 用空气校准

响应时间 仪表 (G )：± 80 毫秒*；控制器 (G )：± 500ms*

*取决于设备配置和根据 SEMI 标准 E17-1011，

在优化条件下为 5-100% 范围

重复性 ± 0.2% 满量程（根据 SEMI 标准 E56-0309）

长期稳定性 < 1% 的测量值/年

电源 24 Vdc (18 – 30 Vdc), 15 Vdc 应要求提供

电流消耗标准 仪表 (G )： 值 100毫安；控制器 (G )： 值 250 mA

（G 阀类型 8 490mA）

电流消耗 Profinet RT / EtherCAT 仪表 (G )： 值 125毫安；控制器 (G )： 值 340 mA

（G 阀类型 8 560mA）

操作压力 0.2 – 11 bar a (3 – 160 psia) / G ，阀门类型 4.5 和 8 max. 8 bar (120 psia)

温度（环境/气体） 0 – 50°C (32 – 122°F)

车身材料 阳极氧化铝，可选不锈钢电抛光

密封件 FKM、EPDM、可选的 FFKM

压力灵敏度 < 0.2% / bar 读数（典型 N2）

温度敏感性 0.025% FS 测量范围类型每 1°C（<0.012% 每 1°F）

热身时间 < 1 秒。完全准确

集成与安装

输出信号模拟 0-20 mA、4-20 mA、0-5 V、1-5 V、0-10 V、2-10 V

输出信号数字 RS-485；Modbus RTU（从站）；提供 LabView-VI

选项：Profibus DP-V0、DP-V1 / Profinet RT / EtherCAT

过程连接 G¼" (BSPP* 内螺纹) 60 ln/min (64 SLPM)

G½" (BSPP* 内螺纹) 450 ln/min (480 SLPM)

*英国标准管道平行

入口部分 不需要

电气连接 D 插头，9

安装方向 位置（5 bar 以上或垂直安装请咨询制造商）

测试压力 16 巴拉（240 磅/平方英寸）

泄漏率 < 1 x 10-6 mbar l/s He

护等 IP50

电磁兼容 EN 61326-1