MKS流量控制器GE50A013101RMV020

概述

G 系列 GE50A013101RMV020 质量流量控制器具有 10 sccm 的满量程流量范围，并针对氮气（或等离子）气体进行了校准。它具有 4 VCR 型公接头和 15 针 D 型连接器，接地接地接地，用于 0 至 5 VDC 质量流量控制。常闭阀具有氟橡胶密封件。G 系列质量流量控制器采用最新的 MKS 控制算法，可在整个设备控制范围内快速、可重复地响应设定点。

产品系列概述

GE50A 弹性体密封 5-50，000 sccm 质量流量控制器

技术规格

类型质量流量控制器

校准气体N2（或等效值）

控制范围0.2 - 10 立方厘米

满量程流量范围10立方厘米

管接头类型4 个录像机男

密封材料氟橡胶

流量输入输出信号0 - 5 V 直流

模拟连接器15 引脚 D-sub（并网接地）

最大入口压力150 psig

正常工作压差10 至 40 psid

耐压1000 psig

爆破压力1500 psig

典型精度对于 20% 至 100% 满量程，±1% 设定值;对于 2 至 20% 满量程，则为满量程的 ±.2%

重复性±0.3%

分辨率满量程的0.1%

零温度系数<满量程/°C的0.05%

量程温度系数<0.08% 读数/°C

入口压力系数<0.02% 读数/psi

典型稳定时间<750 毫秒，典型值高于 5% 满量程

预热时间30 分钟

工作温度10 - 50°C

存储湿度0 至 95% 相对湿度，无冷凝

储存温度-20 至 80°C

外部泄漏完整性<1 x 10-09（scc/sec He）

通过闭阀实现泄漏完整性高达 10K 的阀门在 40 psig 至大气时<满量程的 0.1%，20K - 50K 气阀在 40 psig 至大气中<满量程的 1.0%

接液材料316L 不锈钢 VAR， 316 不锈钢， 埃尔吉洛伊®， 镍

表面光洁度16μ 英寸平均 Ra

重量3 磅（1.4 千克）