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MKS流量控制器GE50A013101RMV020

品牌: MKS 原产地:美国
发布时间: 2022-09-06 12:56:28
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MKS

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产品详情

MKS流量控制器GE50A013101RMV020

概述

G 系列 GE50A013101RMV020 质量流量控制器具有 10 sccm 的满量程流量范围,并针对氮气(或等离子)气体进行了校准。它具有 4 VCR 型公接头和 15 针 D 型连接器,接地接地接地,用于 0 至 5 VDC 质量流量控制。常闭阀具有氟橡胶密封件。G 系列质量流量控制器采用最新的 MKS 控制算法,可在整个设备控制范围内快速、可重复地响应设定点。

产品系列概述

GE50A 弹性体密封 5-50,000 sccm 质量流量控制器

技术规格

类型质量流量控制器

校准气体N2(或等效值)

控制范围0.2 - 10 立方厘米

满量程流量范围10立方厘米

管接头类型4 个录像机男

密封材料氟橡胶

流量输入输出信号0 - 5 V 直流

模拟连接器15 引脚 D-sub(并网接地)

最大入口压力150 psig

正常工作压差10 至 40 psid

耐压1000 psig

爆破压力1500 psig

典型精度对于 20% 至 100% 满量程,±1% 设定值;对于 2 至 20% 满量程,则为满量程的 ±.2%

重复性±0.3%

分辨率满量程的0.1%

零温度系数<满量程/°C的0.05%

量程温度系数<0.08% 读数/°C

入口压力系数<0.02% 读数/psi

典型稳定时间<750 毫秒,典型值高于 5% 满量程

预热时间30 分钟

工作温度10 - 50°C

存储湿度0 至 95% 相对湿度,无冷凝

储存温度-20 至 80°C

外部泄漏完整性<1 x 10-09(scc/sec He)

通过闭阀实现泄漏完整性高达 10K 的阀门在 40 psig 至大气时<满量程的 0.1%,20K - 50K 气阀在 40 psig 至大气中<满量程的 1.0%

接液材料316L 不锈钢 VAR, 316 不锈钢, 埃尔吉洛伊®, 镍

表面光洁度16μ 英寸平均 Ra

重量3 磅(1.4 千克)

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