MKS流量控制器GV50A

类型质量流量控制器

控制范围满量程的2-100%

满量程流量范围5-50，000 sccm

管接头类型兼容：

6 mm 世伟洛克

8 mm 世伟洛克

10 mm 世伟洛克

12 mm 世伟洛克

0.125 in.世伟洛克（对于 1000 sccm N2 当量或以下）

0.25 英寸世伟洛克

0.5 英寸世伟洛克

0.375 英寸世伟洛克

世伟洛克 4 VCO 男性

世伟洛克 4 VCR 男性

世伟洛克 8 VCR 男性

世伟洛克 8 VCO 男性

世伟洛克 2 VCR 公头（对于 1000 sccm N2 当量或以下）

KF-16

密封材料氟橡胶®

布纳-N

氯丁橡胶三元乙丙®

橡胶 Kalrez

连接器EtherCAT

DeviceNet

RS485 （9 针连接器）

Profibus （1480 兼容）

Profibus （1179B 兼容）

PROFINET

9 针 D 连接器 （模拟 0-5 VDC）

9 针 D 连接器， 接地 （模拟 0-5 VDC）

15 针 D 连接器 （模拟 0-5 VDC）

15 针 D 连接器， 接地 （模拟 0-5 VDC）

15 针 D 连接器 （模拟 4-20 mA）

最大入口压力150 psig

正常工作压差10-5000 sccm;10-40 psid， 10000-0000 sccm;15-40 psid， 30000-50000 sccm;25-40 psid

耐压1000 psig

爆破压力1500 psig

典型精度对于 20% 至 100% 满量程，±设定点的 1%，对于 2 至 20% 满量程，±满量程的 0.2%

重复性± 阅读的0.3%

分辨率满量程的0.1%

零温度系数<满量程/°C的0.05%

量程温度系数<读数的0.08%/°C

入口压力系数<读数的0.02%/psi

典型稳定时间<750 毫秒，典型值高于 5% 满量程

预热时间30 分钟

工作温度10-50°C

存储湿度0-95% 相对湿度，无冷凝

储存温度-20° 至 80°C

外部泄漏完整性< 1 x 10-09（scc/sec He）

通过闭阀实现泄漏完整性高达 10K 的阀门在 40 psig 至大气时<满量程的 0.1%，20K - 50K 阀门在 40 psig 至大气时<满量程的 1.0%

接液材料316L S.S. VAR， 316 S.S.， 埃尔吉洛伊®， KM-45

表面光洁度16μ 英寸平均 Ra

重量3 磅（1.4 千克）

合规公元100年