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MKS流量控制器GV50A

品牌: MKS 原产地:美国
发布时间: 2022-09-06 12:54:22
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MKS

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产品详情

MKS流量控制器GV50A

类型质量流量控制器

控制范围满量程的2-100%

满量程流量范围5-50,000 sccm

管接头类型兼容:

6 mm 世伟洛克

8 mm 世伟洛克

10 mm 世伟洛克

12 mm 世伟洛克

0.125 in.世伟洛克(对于 1000 sccm N2 当量或以下)

0.25 英寸世伟洛克

0.5 英寸世伟洛克

0.375 英寸世伟洛克

世伟洛克 4 VCO 男性

世伟洛克 4 VCR 男性

世伟洛克 8 VCR 男性

世伟洛克 8 VCO 男性

世伟洛克 2 VCR 公头(对于 1000 sccm N2 当量或以下)

KF-16

密封材料氟橡胶®

布纳-N

氯丁橡胶三元乙丙®

橡胶 Kalrez

连接器EtherCAT

DeviceNet

RS485 (9 针连接器)

Profibus (1480 兼容)

Profibus (1179B 兼容)

PROFINET

9 针 D 连接器 (模拟 0-5 VDC)

9 针 D 连接器, 接地 (模拟 0-5 VDC)

15 针 D 连接器 (模拟 0-5 VDC)

15 针 D 连接器, 接地 (模拟 0-5 VDC)

15 针 D 连接器 (模拟 4-20 mA)

最大入口压力150 psig

正常工作压差10-5000 sccm;10-40 psid, 10000-0000 sccm;15-40 psid, 30000-50000 sccm;25-40 psid

耐压1000 psig

爆破压力1500 psig

典型精度对于 20% 至 100% 满量程,±设定点的 1%,对于 2 至 20% 满量程,±满量程的 0.2%

重复性± 阅读的0.3%

分辨率满量程的0.1%

零温度系数<满量程/°C的0.05%

量程温度系数<读数的0.08%/°C

入口压力系数<读数的0.02%/psi

典型稳定时间<750 毫秒,典型值高于 5% 满量程

预热时间30 分钟

工作温度10-50°C

存储湿度0-95% 相对湿度,无冷凝

储存温度-20° 至 80°C

外部泄漏完整性< 1 x 10-09(scc/sec He)

通过闭阀实现泄漏完整性高达 10K 的阀门在 40 psig 至大气时<满量程的 0.1%,20K - 50K 阀门在 40 psig 至大气时<满量程的 1.0%

接液材料316L S.S. VAR, 316 S.S., 埃尔吉洛伊®, KM-45

表面光洁度16μ 英寸平均 Ra

重量3 磅(1.4 千克)

合规公元100年

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