MKS流量控制器GM100A

G 系列 GM100A 数控质量流量控制器提供模拟（0 至 5 VDC 或 4 至 20 mA）或 RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET 或 DeviceNet™ I/O。数字控制电子设备利用最新的 MKS 控制算法，在整个设备控制范围内对设定点做出快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准可在校准气体上产生 1% 的设定点精度。

流量从 50 至 100 slm

金属密封，弹性体塞

多种数字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模拟（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O 选择

标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

小于 750 毫秒的建立时间

制范围满量程的 2% 至 100%

满量程流量范围50，000 - 100，000 sccm （N2 当量）

流量输入输出信号电压： （0 至 5 VDC） 15 针 “D” 型公头， 9 针 “D” 型公头， 电流： （4 至 20 mA） 15 针 “D” 型公头

最大入口压力150 psig

正常工作压差50，000 - 100，000 sccm;40 至 80 psid

耐压1000 psig

爆破压力1500 psig

典型精度对于 20% 至 100% 满量程，±设定点的 1%，对于 2 至 20% 满量程，±满量程的 0.2%

重复性±0.3%

分辨率满量程的0.1%

零温度系数<满量程/°C的0.05%

量程温度系数<0.08% 读数/°C

入口压力系数<0.02% 读数/psi

典型稳定时间<750 毫秒，典型值高于 10% 满量程

预热时间30 分钟

工作温度10° 至 50°C

存储湿度0 至 95% 相对湿度，无冷凝

储存温度-20° 至 80°C

外部泄漏完整性<1 x 10-10 （scc/sec he）

通过闭阀实现泄漏完整性<1.0% 满量程，入口至大气压力为 40 psig

接液材料316L不锈钢VAR，316不锈钢，榄盖®，镍

表面光洁度10μ 英寸平均 Ra

重量3 磅（1.4 千克）

合规公元100年通信选项/规格

数字输入/输出 设备网™ RS485 普罗菲布斯® 乙醚猫® PROFINET®

所需输入功率 +11 至 +25 VDC 每 （<2 瓦） +15 至 +24 VDC（<2 瓦） +15 至 +24 VDC（<2 瓦） +24 VDC（<3 瓦） +24 VDC（<3 瓦）

连接器 5 针微型连接器（电源和通信） 9 针 D 型公头（电源和通信） 9 针 D 型公头（电源）

9 针 D 型母头（通信） 2 x RJ-45 公头，M8 公头，

5 针（电源） 2 x RJ-45 公头，M8 公头，

5 针（电源）

数据速率切换/选择 4 个位置：125、250、500K（默认）

（可通过网络编程） 无需开关 通过 RS485 设置数据速率 无需开关 通过 Profibus 设置数据速率 无开关 无开关

通信费率 125 千字节/秒;250 Kbps;500 千字节/秒 9.6 千字节/秒;19.2 千字节 38.4 千字节 9.6 Kbps 至 12 Mbps 100 Mbps 100 Mbps

MAC ID 交换机/地址 2个开关，10个位置;0.0 到 6.3 1 到 254 通过RS485站地址0，0到9，9设置地址 2 个开关，10 个位置 3 个开关，16 个位置 不适用

网络规模 最多 64 个节点 最多 32 个节点 最多 99 个节点 最多 4095 个节点 不适用

视觉指示器 LED 网络（绿色/红色）

LED 模块（绿色/红色） 指示灯通信（黄色）

指示灯错误（红色） 指示灯通信（绿色/红色）

指示灯错误（绿色/红色） 电源指示灯（绿色）

指示灯运行（绿色）

指示灯错误（红色）

指示灯通信指示灯（绿色） 指示灯维护（琥珀色）

指示灯总线故障（红色）

指示灯就绪（绿色）

指示灯系统故障（红色）

合规 公元100年 公元100年 公元100年 公元100年 公元100年

广泛的数字和模拟接口选择

GM100A 数字控制 MFC 提供模拟或数字 I/O。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内为设定点提供快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。GM100A 的模拟和数字 I/O 可以很容易地用于取代 1179A MFC 的相同 I/O 类型。所有GM100A都将Modbus作为可用的辅助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。

标准 3 英寸基底面

GM100A 采用质量流量控制器最常用的标准 3 英寸占地面积，流量范围为 5 sccm 至 50 slm，无需修改现有的气体管路配置，现在流量高达 100 slm，N2 当量。

金属密封

GM100A 金属密封 MFC 具有 10 μ 英寸电抛光 316L 表面光洁度，使该质量流量控制器可用于高纯度应用。

设定值精度百分比

随附的数字校准可在满量程流量范围的 20% 至 100% 范围内使用 N2 校准气体产生 1% 的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制，而不是相对于满量程的精度。对于满量程为2%至20%的质量流量，精度为满量程的±0.2%。

嵌入式用户界面

嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而降低了库存要求。您还可以监视 MFC 功能并就地收集性能数据。

获得专利的热传感器

久经考验的专利热传感器设计可提供出色的零点稳定性。美国专利号5461913。