MKS流量控制器GE250A

G系列GE250A和GE300A质量流量控制器是通用的弹性体密封MFC，适用于各种应用。GE250A 的满量程范围为 100 至 250 slm （N2等效）。GE300A 的满量程范围为 150 至 300 slm （N2等效）。两者都提供模拟I / O或数字I / O，利用最新的控制算法实现对设定点的快速和可重复的响应。

流量从 100 至 300 slm

氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或三元乙丙橡胶的密封和阀塞选项

多种数字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模拟（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O 选择

标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

1 至 2 秒稳定时间

描述

ge250a/ge300a 弹性体密封 100-300 slm 质量流量控制器 GE250A

质量流量控制器， 多气体， 多量程， 弹性体密封， 100-250 slm

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ge250a/ge300a 弹性体密封 100-300 slm 质量流量控制器 GE300A

质量流量控制器， 多气体， 多量程， 弹性体密封， 150-300 slm

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辅文献

GE250A 弹性体密封， 质量流量控制器， 100-250 slm （257.3 kB， PDF）

GE300A 弹性体密封， 质量流量控制器， 150-300 slm （260.5 kB， PDF）

应用说明

用于表面淬火工艺气体控制的多功能一体机 （246.3 kB， PDF） 

用于低辐射玻璃镀膜应用的气体输送 （530.2 kB， PDF） 

生物制药应用中的气体输送 （271.8 kB， PDF） 

等离子喷涂应用的气体输送 （320.8 kB， PDF） 

质量流量控制器/仪表的样本气体代码

基于热的质量流的气体校正因子

手册

GE250A/IE250A 用户手册 （1055823） （2.4 MB， PDF） 

G 系列质量流量控制器/仪表设备网络™补充 （112.5 kB， PDF） 

G 系列质量流量控制器/流量计 RS485 补充 （149.3 kB， PDF） 

G 系列质量流量控制器/流量计 PROFINET 通信补充 （1 MB， PDF） 

G 系列/I 系列 MFC 模组总线寄存器地图和规范 （502.9 kB， PDF） 

图纸和加元

GE250 质量流量控制器/仪表 3D 模型文件

GE250A 质量流量控制器/仪表尺寸图 （241.3 kB， PDF）

GE300A 质量流量控制器/仪表尺寸图 （230.5 kB， PDF）