MKS流量控制器IE1000A

IP66 级多气体、多量程弹性体密封 500-1000 slm 质量流量控制器

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I 系列 IE1000A 质量流量控制器采用弹性体密封的多气体/多量程 MFC，外壳防护等级为 IP66，设计用于恶劣的工业环境，在这些环境中，抗液体和灰尘的侵入至关重要。IE1000A 的满量程范围为 501 至 1000 slm（相当于 N2）。这种宽流量范围得益于独特的控制阀设计，该控制阀可快速响应设定点变化，同时保持远低于其他高流量质量流量控制器的闭合电导泄漏率。

流速从 500 至 1000 slm

氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或三元乙丙橡胶的密封和阀塞选项

模拟、RS485、Profibus™ 或 DeviceNet™ I/O

标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

1 至 2 秒稳定时间

查看所有功能类型质量流量控制器

满量程流量范围501-1000 slm （N2 当量）

管接头类型兼容：

12 mm 世伟洛克

0.5 英寸管压缩

0.75 英寸压缩

0.5 英寸NPT 女性

0.75 英寸NPT 女

8 VCR 公头

8 VCO 公头

连接器Profibus

PROFINET

15 引脚 D （模拟 0-5 VDC I/O）

15 引脚 D （4-20 mA I/O）

最大入口压力150 psig

正常工作压差40-50 psid

爆破压力1500 psig

控制范围满量程的2-100%

典型精度±20% 至 100% 满量程 >为设定点的 1%±满量程

为 5% 至 20% 满量程的 0.25%

重复性±0.5%

分辨率读数的0.1%

零温度系数<满量程/°C的0.05%

量程温度系数<0.08% 读数/°C

入口压力系数<0.08% 读数/psi

典型稳定时间10% 满量程以上时典型值为 <3 sec @ 50 psi

预热时间1 小时

工作温度10-50°C

存储湿度0-95% 相对湿度，无冷凝

储存温度-20° 至 65°C

外部泄漏完整性<1 x 10-9（scc/sec He）

通过闭阀实现泄漏完整性<1.0% 满量程，40 psia 至 vac （<500 mTorr）

密封材料氟橡胶®

布纳

氯丁橡胶三元乙

丙®

橡胶氟橡胶（符合USP VI级标准）

接液材料316 S.S.， Elgiloy， 430FR， PTFE （标准）

表面光洁度16 μinch 平均 Ra

外壳额定值防护等级 IP66

电源要求15-24 VDC @ （<8 瓦）

流量输入输出信号电压： 0-5 VDC

电流： 4-20 mA

模拟 I/O 连接器电压：15 针“D”型公

头 电流：15 针“D”型公头

重量12.7 磅（5.8 千克）

合规公元100年