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MKS压力计631F11TMFH

品牌: MKS 原产地:美国
发布时间: 2022-09-06 12:39:10
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MKS

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产品详情

MKS压力计631F11TMFH

概述

631F11TMFH 加热绝对压载®电容压力计具有 10 Torr 满量程压力测量功能,可加热至 150°C,并具有 1.5 英寸 Triclover® 卫生配件。它在非常高的内部温度下工作,最大限度地减少了传感器内过程副产物的沉积,并几乎消除了由污染引起的输出漂移。其 150°C 的工作温度允许在半导体制造中最苛刻的真空工艺中使用,例如金属蚀刻和氮化物薄膜化学气相沉积 (CVD)。其新封装将所需的安装空间减少了至少 40%,使其更易于设计到新系统或改造到现有设备中。631F 是完全独立的,只需 ±15VDC 的输入功率即可运行。不使用单独的电子模块,这既减少了所需的安装空间,又由于消除了噪声产生的互连电缆而提供了更好的性能。其铬镍铁合金®传感器具有极高的耐腐蚀性,其45 psia的超压额定值可确保良好的可重复性和稳定性,无论系统运行条件如何。631F 型高性能模拟电子元件还包括故障安全过温保护和 LED 状态灯,用于指示其工作状态。

产品系列概述

631F 1-1000 Torr 加热 (150 或 200°C) Baratron® 绝对电容压力计

技术规格

类型真空/压力传感器

测量类型绝对

满量程范围10 托

传感器温度150°C

准确性读数的0.50%

管接头类型1.5 英寸三叶草

模拟输出0-10 伏直流电

模拟连接器15 针 D 型分压

跳闸继电器0

分辨率满量程的0.01%

零温度系数满量程/°C的0.004%(1 Torr范围为满量程/°C的0.008%)

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