MKS压力计631F13TBFP

概述

631F13TBFP 加热绝对压载®电容压力计具有 1000 Torr 满量程压力测量功能，可加热至 200°C，并具有 8 VCR 母接头。它在非常高的内部温度下工作，最大限度地减少了传感器内过程副产物的沉积，并几乎消除了由污染引起的输出漂移。其200°C的工作温度允许在半导体制造中最苛刻的真空工艺中使用，例如金属蚀刻和氮化物薄膜化学气相沉积（CVD）。其新封装将所需的安装空间减少了至少 40%，使其更易于设计到新系统或改造到现有设备中。631F 是完全独立的，只需 ±15VDC 的输入功率即可运行。不使用单独的电子模块，这既减少了所需的安装空间，又由于消除了噪声产生的互连电缆而提供了更好的性能。其铬镍铁合金®传感器具有极高的耐腐蚀性，其45 psia的超压额定值可确保良好的可重复性和稳定性，无论系统运行条件如何。631F 型高性能模拟电子元件还包括故障安全过温保护和 LED 状态灯，用于指示其工作状态。

产品系列概述

631F 1-1000 Torr 加热 （150 或 200°C） Baratron® 绝对电容压力计

技术规格

类型

真空/压力传感器

测量类型

绝对

满量程范围

1000 托

传感器温度

200°C

准确性

读数的0.50%

管接头类型

8 个录像机母头

模拟输出

0-10 伏直流电

模拟连接器

15 针 D 型分压

跳闸继电器

0

分辨率

满量程的0.01%

零温度系数

满量程/°C的0.008%（1 Torr范围为满量程/°C的0.016%）

量程温度系数

读数的0.02%/°C

响应时间

50 毫秒

预热时间

4 小时或更短

内部容积

6.3 毫升

工作温度范围

15-50°C

超压限制

45 psia

暴露材料

铬镍铁合金®或铬镍®合金

电源要求

± 15VDC （±5%） @ 1.0 安培最大值

环境气流要求

150 英尺/分钟，适用于 40 - 50°C 的环境温度