MKS电容压力计DA02B13TCES21C00

概述

DA02B13TCES21C00 Baratron® 100° C 温控数字 EtherCAT® 电容压力计具有 1000 Torr 满量程压力测量功能，并具有世伟洛克® 8 母 VCR® 接头。基于经过验证的627和628以太网配备e-Baratron产品，EtherCAT Baratron压力计符合当前的SEMI® EtherCAT通用设备配置文件，设计用于高级处理系统。它使用与当前 MKS Baratron 压力计产品完全相同的基于 Inconel® 的电容传感器，提供与当前模拟 Baratron 电容压力计相同的长寿命、低维护和高耐腐蚀性。

产品系列概述

DA02B 0.1-1000 Torr 加热和未加热的 Baratron® EtherCAT® 电容压力计

技术规格

类型真空/压力传感器

测量类型绝对

传感器温度100°C

满量程范围1000 托

准确性读数的0.10%

管接头类型8 个录像机母头

通信协议乙醚猫

模拟输出0-10 伏直流电

模拟连接器15 针 D 型分压

数字连接器2 个 RJ45 以太网插孔

校准标准

零温度系数满量程/°C的0.002%

量程温度系数读数的0.02%/°C

工作温度范围15-40°C

卷6.3 毫升

预热时间2 小时

超压限制45 psia （310 kPa） 或满量程的 120%，以较大者为准

暴露材料铬镍铁合金®和铬镍®合金

行程点没有

合规公元100年