MKS压力传感器AA08B13TMD3GC1

概述

AA08B13TMD3GC1 Micro-Baratron® 高压、超洁净、流通式压力传感器提供 1000 Torr（绝对）的满量程测量范围，具有 1.125 英寸 C 型密封表面贴装接头、0-5 VDC 模拟输出和 15 引脚高密度“D”型连接器，位于标准外壳中的 9 英寸飞线上。它非常适合用于将超纯气体输送到关键工艺系统的输送系统。它们暴露在气流中的润湿表面具有优于5μin Ra的光洁度。这些传感器表现出优异的干燥特性，并且在背景上方没有颗粒。制造和组装后，在100级环境中进行双重装袋之前，用超洁净氮气进行清洗。AA08B中传感器的全Incoloy®结构可实现高过压容差，从而减少由于线路压力尖峰引起的误差。高爆破压力等级有助于整体系统安全。在现有的气柜和过程系统上，由于这些传感器的尺寸小、行业标准的端到端长度和电气接口选择，因此可以轻松现场更换普通刻度计或性能较低的传感器。可选的本地集成显示屏提供传感器管路压力的数字读数。该显示屏位于 1000 Torr、100 和 250 PSIA 范围内，具有 0-10VDC 输出信号，可提供高度可见的压力和测量单位红色 LED 显示屏。显示器还可以切换为显示四种不同单位（PSIA、Torr、bar和kPa）中的任何一种，而无需重新校准或重新调整传感器本身。它从输入的传感器电压中获取功率，因此不需要额外的电缆。

产品系列概述

AA08B 微巴朗®高压流通式压力传感器

技术规格

类型真空/压力传感器

配置流通

测量类型绝对

满量程压力1000 托

准确性读数的1.0%

模拟输出0-5 伏直流电

管接头类型1.125 英寸C型密封表面贴装

电连接器15 针高密度 D 型，位于 9 in. 飞线上

零温度系数满量程的0.04%/°C

量程温度系数读数的0.08%/°C