64.8特高压控制闸阀

用于标准真空控制和隔离

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为超高真空工艺提供可靠、精确的控制

64.8 UHV 控制闸阀系列设计用于在半导体生产中的溅射或 EUV 等应用中的超高真空工艺中实现可靠、精确的控制和隔离。它满足了耐用性、模块化、密封性和可维护性等标准要求，特别注重高正常运行时间和低拥有成本。

64.8 配备了 VATLOCK 技术，可提供可靠的密封，而不会在板上产生任何摩擦。该板充当节流元件，并改变阀门开口的电导率。板载压力控制器计算所需的板位置，以达到设定点压力。步进电机执行致动。编码器监控板的位置。这确保了快速准确的过程压力控制。关闭位置的特殊VATLOCK登录机制可确保泄漏紧密隔离，并在断电的情况下进行故障安全关闭。

通过金属阀盖密封和波纹管密封贯穿件以及硫化板密封（可选配O形圈）实现超高真空性能。

64.8 已经安装在各种工艺条件下的数千种要求苛刻的应用中，证明了其出色的可靠性。凭借其坚固的免润滑设计，它满足高循环真空控制闸阀的所有要求。

闭

打开

64.8 UHV 控制闸阀在密封材料、法兰连接、粗加工（旁通）、排气或压力表以及特殊控制算法（自适应、固定 PI 下游/软泵）方面提供不同的设计选项，以简化其与各种真空应用的集成。控制器也可以与阀门分开安装。

该系列的尺寸从 DN 200 - 250mm （8“ - 10”）。

64.8 特高压控制闸阀的主要特点

特征：

可靠、成熟的特高压设计

免润滑

华创科技

坚固的不锈钢机身

好处：

可靠、精确的控制和隔离

延长免维护周期

低拥有成本

技术参数

大小 DN 160 （6“）， DN 200 （8”）， DN 250 （10“）

驱动器 带闭环控制步进电机的集成压力控制器

阀体材料 不锈钢

贯穿件 风箱

标准法兰 ISO-F， CF-F， ASA-LP/ASA， JIS

泄漏率 阀体 < 5 × 10-10毫巴 ls-1

  阀座 < 1 × 10-9毫巴 ls-1

压力范围 DN 160– 200

DN 250 10×-10毫巴 至 1.6 巴 （绝对）

1 × 10-10毫巴至 1.2 巴（绝对）

浇口上的压差 DN 160– 200

DN 250 ≤ 1.6 巴

≤ 1.2 巴

开口时的压差 ≤ 30 毫巴

周期直到第一次维修 限制（打开 – 最大打开）

隔离（打开 – 关闭 – 打开） 100 000

30 000

温度 阀体 ≤ 80°摄氏度

  控制器 最高 50°C（建议≤ 35 °C）

材料 阀体 爱思 304 （1.4301）

  机制 AISI 316L （1.4404） （DN 160– 200）

AISI 304 （1.4301） （DN 250）

  风箱 爱思 316L （1.4404， 1.4435）

密封 帽子 金属

  门 氟橡胶（氟橡胶®）

安装位置 任何

阀门位置指示 视觉（机械和控制器）